MF-200M 中外合作仁荷微电子INHA气体质量流量计

中外合作* 交货周期短 优质的国产质量流量控制器，性能比肩进口

产品为定制产品（可特殊定制）价格需电议

山西仁荷微电子科技有限公司主要生产INHA气体质量流量控制器，气体流量计。 本公司生产的气体质量流量控制器广泛应用于工业气体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究所、生物医药、标准检测等各类*领域。如：真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

产品优势：

 本公司为国内研发生产厂商，相比国外品牌交货周期短 所需成本低 优质的性能性价比

 主要技术指标： 

编号 项目 MF-200C MF-200M
1 流量规格（N2） 10sccm～30slpm 
2 准确度 ±1％F.S(Full Scale)
3 重复精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 响应时间 ≤2sec（特别要求时：≤1sec）
5 耐压 ≤90bar
6 工作环境温度 0℃～50℃
7 输入输出信号 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供电 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范围 2～100％满量程

   本公司自主开发研制的产品具有抗*力强，测量精度高、量程比大、工作稳定可靠、对安装要求低、对流体状态要求低，压力损失小等优点，且易清洗、具备自排空功能；其基本技术指标已达到*水平，可直接用来测量管道中介质的质量流量及总量、体积流量及总量、介质的密度、温度、溶液的浓度以及较均匀混合的两种液体各自的浓度等参数。 每台传感器都由不锈钢材料制造，变送器的多种输出能满足您的各种需求。

 MF系列产品：

MF系列MF-200C MF-200M特点：

有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10Mpa;本产品可以使用多种气体介质（包括一些腐蚀性气体）；有很宽的流量范围，产品zui小流量范围可达0~10sccm，zui大流量范围可达0~30slpm。流量控制范围是满量程的2~（量程比为50:1）。
——耐高压（zui大工作压力可达100bar）
——响应时间快≤1sec
——准确率高
——稳定的流量控制
——压力范围广

——尺寸小
——连接方便，快拆快拧
——交货周期短
——优惠的价格性价比

——模拟输入输出接口（0-5Vdc或4-20mA可选）
——连接尺寸与其他标准质量流量器兼容

工作原理：
•流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量（无需温度压力补偿）。
•将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
•分流器决定主通道的流量。
•与之配套的流量显示仪上设置有稳定电源，3位半数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。
•控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比，满量程（F.S）流量检测输出电+5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是（2~100）%F.S（程比为50：1）

如图：

结构：

气体质量流量计由流量传感器（Sensor），分流器通道和流量放大电路等部件组成；在气体质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了气体质量流量控制器。

用途和特点：

   气体质量流量控制器（MFC）在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺设备，如：氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。