质量流量控制器的英文名字叫“MASSFLOWCONTROLLER”(简称MFC),它通常由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器管道、机壳、调节阀等部件组成。中文名质量流量控制器外文名MASSFLOWCONTROLLER用途用于对于气体或者液体的质量特点精度高,重复性好类型质量流量计1简介质量流量控制器它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。2用途与特点质量流量控制器(MassFlowController缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射
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