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M2100  气体质量流量计M2100

M2100 气体质量流量计M2100

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公司名称:
上海春长自动化设备有限公司
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产品型号:
M2100
更新时间:
2014-07-08 14:11
厂商性质:
经销商
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本网采购热线:0571-87756399
0571-87759942

项 目 M21000V 和M2100A1 流量规格(N2): 25slpm ~ 120slpm(本公司可以为客户在25slpm ~ 120slpm范围内任何区域标定)2 准确度 :±1% F.S (Full Scale)139170099687 范先生

气体质量流量计M2100 详细信息

1. 用途及特点

气体质量流量控制器( Mass Flow Controller 简称MFC )能够在较大的量程

范围内对气体的质量流量进行精密测量和控制。

气体质量流量计( Mass Flow Meter 简称MFM )能够在较大的量程范围内

对气体的质量流量进行精密测量。

它们在石化工业、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、环保和

真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括:电子工艺

设备,如、氧化、CVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、;以及微反应装置、混气配气系统、镀膜设备、光纤熔练、气相色谱仪及其它分析仪器。

Line-Tech Ltd.致力于对产品的性能和生产工艺的不断改进。对M 系列气

体质量流量控制器(MFC)和气体质量流量计(MFM)进行了全新的技术改造,

在功能和性能上有了进一步的提高。

M 系列气体质量流量控制器和质量流量计具有精度高、响应速度快、重

复性好、稳定性佳、软启动、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下

工作),其操作使用方便,可任意位置安装调试,并更好的与计算机连接实现自

动控制。

M2100V M2100A 型 气体质量流量计(MFM)性能指标

 

1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters(公升)

sccm : s = standard cc = cm 3 次方 m = minute(分

slpm : s = standard l = liter p = per m = minute(分

重复精度 :±0.25 % F.S Full Scale

项 目 M21000V M2100A

1 流量规格(N2: 25slpm 120slpm

(本公司可以为客户在25slpm 120slpm范围内任何区域标定)

2 准确度 :±1% F.S Full Scale

3

4 响应时间 :3sec ( 特别要求::1sec )

5 耐压 :最高 95 bar

6 工作环境温度 :5 ~ 65

7 输入输出信号: 0 ~ 5Vdc   4 ~ 20mA

8 电源 :±15Vdc, 350mA

 

气路接头形式

可提供5 种尺寸接管外径的接头类型:

a.. 1/8Compress

b. 1/4Compress

c. 3/8Compress

d. 1/4VCR

 

e. 1/4VCO

13917099687  范先生


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