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  微位移测量激光干涉仪

微位移测量激光干涉仪

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上海贝丁汉工业自动化设备有...
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上海市
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2014-08-14 17:40
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产品名称:进口激光干涉仪
产品型号:ZLM800
产品产地:德国
制 造 商:JENAer公司

微位移测量激光干涉仪 详细信息

产品名称:进口激光干涉仪
产品型号:ZLM800
产品产地:德国
制 造 商:JENAer公司
 
详细介绍:

ZLM800双频激光干涉仪是德国Jenaer公司生产的新一代激光干涉仪。把性能稳定的氦氖气体激光与电子电路相结合,可制造出新型的干涉仪测量系统。

可编程ASIC装置可根据用户的要求,可提供无与伦比的个性话测量系统。

ZLM800激光干涉仪广泛应用于独立校准系统、多轴定位系统,及快速动力学的全部控制系统。它还可完全评估机器及机械的动力学动作,以便通过WINDOWS软件,按用户规定的方式对该动作进行分析。

所有模块化系统均配有超级蔡司光学,ZLM800激光干涉仪为用户所有的应用测量系统提供完美的解决方案:

tmb_vibrometer

  • 位置
  • 距离
  • 速度
  • 加速度
  • 角度
  • 振动
  • 直度
  • 垂直度
  • 平坦度
  • 整齐度
工作模式

专利型ZLM800激光干涉仪使用氦氖气体激光,在双频外差中工作。 激光热稳定性为0.002 ppm,两种模式的640MHz频率用于信号处理相当于四倍。这种高频处理信号可以对运动速度非常块的物体进行测量,而没有干扰误差,信号延时非常短。

干涉仪光学到PC插槽上电子计数器电路信号的传输通过光纤电缆来进行,它可阻止外部电磁环境的干扰。因此ZLM800适用于恶劣的生产环境、标准测量环境及高真空环境。

作为PC插槽的替代品,可使用独立的数据处理电子单元,它带有多个接口,用于数据输出、连接闭环控制回路。该型号的干涉仪可以扩展为五轴测量。

要点
  • 被测物体最大速度16m/s
  • 无干扰误差时的分辨率2.5nm(带平面镜干涉仪时为1.25nm)
  • 加速度无限制
  • 即使非常低的光线水平,探测信号也十分稳定
  • 信号延时<200 ns
  • 激光寿命内,频率稳定
  • 对电磁干扰不敏感
  • 适用于超级蔡司光学的高真空
  ZLM 800

可靠性测量方法

通过相关的测量工具及简单的操作,ZLM800干涉仪可完成可靠稳定的测量任务,完全符合ISO9000/9004标准规范。

ZLM800系统增加了测量的可靠性和稳定性

世界范围内,ISO9000/9004是产品质量控制管理的统一标准,严格根据该标准来进行的质量检测,可以保证任何制造企业产品质量的性能。

测量的稳定性由测量工具、测量方法和操作者等多方面因素决定,调整系统的测量误差会极大影响稳定性。

sicher messen

一种新的测量助手,通过软件可以最大限度减小整个测量系统的调整误差。两个四象限传感器置于激光测量头内, 一个用作测量光束,一个用作参考光束,保证了干涉仪系统能够以最优的方式与被测的物体相对齐。由于大屏幕显示,对齐会显得非常敏感。

使用调整助手的优点:

  • 系统调整精度显示的建立时间最小化
  • 即使在最复杂的设置中,激光头的调整是必要的程序
  • 通过最高的可靠性能来解决调试的任务

智能化测量方法

ZLM800信号处理电路是以可变成ASIC装置为基础的。对于双频激光干涉仪ZLM800,在测量工作中,不同信号之间的相互作用,是完全没有问题的。

ZLM800可以与外部计数系统相连接。使得测试设备和激光测试仪的比较符合常规、节约时间。该过程使用实时信号偶合,按照德标或国际标准对数据进行分析。

激光测试仪作为最准确三维测量工具,测量数据易于记录,不易丢失。这些优点使得ZLM800激光测试仪是机器设备校准和鉴定使用德理想选择。

评估标准

  • VDI / DGQ 3441
  • DIN / ISO 230
  • VDI / VDE 2617
  • NMTBA

精准的测量方式

即使选用标准的配置,ZLM800激光测试仪的分辨率也能够达到5nm,测量误差优于1µm/m。这是基于环境条件(特殊情况下的物质温度)通过AUK500自动环境补偿仪(气象站)完全记录下来的情况,并且周围环境情况与测量室内条件一致。

使用ZLM800激光干涉仪,使得长度测量设备和比较设备的校准变得更为容易和简单。

AUK 500   周围环境对测量结果的影响可通过AUK500自动环境补偿器或手工输入来修正。最多可使用5个物质温度传感器来补偿被测物体的线性偏移。


简便的测量方式

ZLM800激光干涉仪带有WINDOWS™数据分析软件,使得长度测量精度极为准确,而且对数据的分析也极为方便。 可随意登陆测量数据、表格和图表,并且可充分利用WINDOWS™程序的各种优势。无论是测量位置、角度或者是直线度,由Carl Zeiss设计的专用软件可以集成到任何的微软WINDOWS™系统中。测量、分析、记录和数据存档过程都可在短时间内轻松任意的完成。

在程序设计的过程中,用户最关心的一个问题是测量结果的记录。集成式记录编辑器使得编辑和打印某条图表、表格和用户增加的内容更为容易。所有记录的内容都可通过剪贴板上的中间编辑器来导出到文字处理器里。

ESOX 2.2   在准备和测量的过程中,最重要的信息项目要进行明显的显示。通过使用鼠标或很少的几个按键,就可进入所有的功能程序中。
要评估和分析测量的数据,通过简单的操作,就可生成各种图形和表格。甚至某些极小的细节都可囊括进去。   ESOX 2.2
ESOX 2.2   测得的数据可以在文档卡中存档。通过卡片标签,可以多某些特殊数据进行快速检索,甚至从大量数据中进行检索。


干涉仪长度测量的顶级性能类别
测量
  • 记录打印
  • 鉴定
  • 过程优化
校准、定位、对齐
  • 机械误差补偿
  • 主轴导线误差补偿
  • 螺距误差补偿
控制
  • 运动分析
  • 动态行为
  • 误差补偿


ZLM800双频激光干涉仪技术参数
真空中氦氖激光平均波长          
632.8 nm
波长稳定性                       
 
2*10-9 一个小时
2*10-8 寿命周期内
激光束直径                       
6mm可选3.2mm)
应急扩展激光束最大输出              
1mW
每束激光测量轴数量              
1, 最多可选择6个
距离测量范围                     
130英尺,最多可选390英尺
角度测量范围                     
±15°,长度最大65英尺
直线度测量范围                   
±0.195英寸, 长度6.5英尺,或32.5英尺
最大速度                         
 
线性                             
<4m/s,可选16m/s
角度                             
<320 rad/s
距离分辨率                       
 
立体角镜干涉仪                   
2.5nm  (可选0.3nm)
平面镜干涉仪                     
1.25nm (可选0.1nm)
非线性度                         
 
立体角镜干涉仪                   
± 1.25nm
平面镜干涉仪                     
± 0.62nm
角度分辨率                       
0.62*10-7rad
直线度分辨率                     
 
145 nm,32.5时
29 nm, 6.5英尺
接口                             
正交信号
32bit(实时时间)
Δt≈20ns
内部环境                         
15°C ... 30°C
光学/高真空


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