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DEKTAK XT  BRUKER台阶仪

DEKTAK XT BRUKER台阶仪

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浏览次数:76
产品报价:
450000元
公司名称:
铂悦仪器(上海)有限公司成...
所在地区:
成都市
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产品型号:
DEKTAK XT
更新时间:
2014-12-30 01:42
厂商性质:
代理商
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本网采购热线:0571-87756399
0571-87759942

布鲁克 DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)是一项创新性的设计,可以提供无与伦比的重现性,重现性低于5Å。操作简易,从研发到质量控制都有更好的过程控制。整合了技术突破到第十代Dektak台阶仪能够在微电子,半导体,太阳能、超高亮度发光二极管(LED)、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。

BRUKER台阶仪 详细信息

DektakXT 

Specifications规格 

测量技术 探针轮廓技术 

测量功能 二维表面轮廓测量 

可选三维测量

样品视景 可选放大倍率, 1 to 4mm FOV 

探针传感器 低惯量传感器 (LIS 3) 

探针压力 使用LIS 3传感器:至 15mg 

低作用力(选配) 使用N-Lite+低作用力传感器:0.03至 15mg 

探针选项 探针曲率半径可选范围: 50nm25μm 

高径比 (HAR)针尖:10μm x 2μm200μm x 20μm; 

可按客户要求定制针尖 

样品X/Y载物台 手动 X-Y 平移:100mm (4 英寸) 

机动X-Y 平移:150mm (6 英寸) 

样品旋转台 手动,360°旋转

机动:360°旋转

计算机系统 64-bit 多核并行处理器, Windows® 7.0; Optional 23英寸平板显示器 

软件 Vision64操作及分析软件; 

应力测量软件;悬臂偏转; 

缝合软件;三维扫描成像软件 

减震装置 减震装置可用 

扫描长度范围 55mm (2英寸) 

每次扫描数据点 最多可达120,000数据点 

最大样品厚度 50mm (2英寸) 最大晶圆尺寸 200mm (8英寸) 

台阶高度重现性 <5Å, 1σ1μm台阶上 

垂直范围 1mm (0.039英寸) 

垂直分辨率 最大1Å ( 6.55μm垂直范围下) 输入电压 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz 

温度范围 运行范围20 到 25°C (6877°F) 

湿度范围 ≤ 80%, 无冷凝 

系统尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H  (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34公斤(75); 

附件:550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H); 21.7公斤(48


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