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DL10-8  数字式四探针测试仪 单晶硅物理测试仪 半导体材料电阻率检测仪 方块电阻薄层电阻测试仪 半导体材料电阻

DL10-8 数字式四探针测试仪 单晶硅物理测试仪 半导体材料电阻率检测仪 方块电阻薄层电阻测试仪 半导体材料电阻

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产品报价:
1元
公司名称:
北京北信未来电子仪器有...
所在地区:
北京市
产品型号:
DL10-8
更新时间:
2015-12-16 16:56
厂商性质:
生产商

联系人:刘 18501309179

(联系我时,请说明是在中国仪表网上看到,谢谢!)

数字式四探针测试仪 单晶硅物理测试仪 半导体材料电阻率检测仪 方块电阻薄层电阻测试仪 半导体材料电阻
是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。

数字式四探针测试仪 单晶硅物理 详细信息

数字式四探针测试仪 单晶硅物理测试仪 半导体材料电阻率检测仪 方块电阻薄层电阻测试仪 半导体材料电阻性能测试仪

型号DL10-8

DL10-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻薄层电阻的专用仪器。

仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。

仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

DL10-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻薄层电阻的专用仪器。

仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。

仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

技 术 指 标:

测量范围电阻率:10-4105Ω.cm(可扩展

方块电阻:10-3106Ω/可扩展

电导率:10-5104s/cm

电阻:10-4105Ω;

可测晶片直径140mmX150mm(S-2A型测试台

200mmX200mmS-2B型测试台

400mmX500mmS-2C型测试台

恒流源电流量程分为1μA10μA100μA1mA10mA100mA六档,各档电流连续可调

数字电压表量程及表示形式:000.00199.99mV;    

分辨力:10μV

输入阻抗:>1000MΩ;

精度:±0.1%

显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;

四探针探头基本指标间距:1±0.01mm

针间绝缘电阻:≥1000MΩ;

机械游移率:≤0.3%

探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm

探针压力:516牛顿总力

四探针探头应用参数见探头附带的合格证

模拟电阻测量相对误差

JJG508-87进行)0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1

整机测量最大相对误差用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试≤±5%

整机测量标准不确定度≤5%

计算机通讯接口并口

标准使用环境温度:23±2℃;

相对湿度:≤65%

无高频干扰;

无强光直射;

 

 

 

  

 

 

 

 

数字式四探针测试仪 单晶硅物理测试仪 半导体材料电阻率检测仪 方块电阻薄层电阻测试仪 半导体材料电阻

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联系人:刘

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传真:86-010-69791102

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