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siargo  气体质量流量传感器FS1015CL

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公司名称:
矽翔微机电系统(上海)有限...
所在地区:
成都市
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产品型号:
siargo
更新时间:
2016-07-16 21:16
厂商性质:
生产商
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FS1015系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量计。

气体质量流量传感器FS1015CL 详细信息

 FS1015系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量计。FS1015

 量程 0~100SLPM
          0~150SLPM
 精度  ±1.5%
 


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    量程10 20 30 40 50 SLPM
    精度1.5% 量程比100:1

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