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  电涡流位移传感器

电涡流位移传感器

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公司名称:
深圳市真尚有科技有限公司
所在地区:
深圳市
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更新时间:
2014-07-06 18:59
厂商性质:
经销商
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超精密电涡流位移传感器,超高分辨率1埃

电涡流位移传感器 详细信息

超精密电涡流位移传感器
有埃米级分辨率电涡流位移传感器SMU9000、SMT9700,

特点:
-超高分辨率,1埃
-信噪音比:1PPM
-精确度0.1%,通过计算机校准;
-频响:0~10KHZ

其典型应用:
光学平台位置测量;半导体和光器件的研磨闭环测控;半导体模板对齐系统定位;半导体蒸镀系统定位;
电子显微镜垂直轴定位;原子显微镜垂直轴定位;磁悬浮轴控制;部件研磨加工的精确定位;镜片定位控制;
物质收缩测试测量;机械结构变形探测与测试;高精度照排3D位置测量;读写头制造,研磨板定位;
有纳米级高稳定差动电涡流位移传感器KD5100

特点:
-每通道两个精确匹配的传感器使分辨率达到1纳米
-超耐热,长时间稳定:5x10E-6 英寸/月或更好
-有耐低温传感器
-非常高的灵敏度,最高到394 mV/µm
典型应用:
-差动测量:
如激光反射镜聚焦平台定位。
-低温应用:
20N传感器有一个专门的低温应用版本,已证明其在70°K的液态氮中有最优性能。好几个空间项目在4°K的液态氦环境中使用了此传感器。
-真空应用:
传感器和KD-5100的电子器件都已用在10~6托的真空应用中了。
-超高精度宇航应用:
已制造出MIL-H-38534。所有电子器件均采用符合MIL-SPEC标准的。KD-5100在战斗环境下的MTBF超过55,000小时,太空飞行环境下超过238,000小时。
小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) :可应用于空间狭小的场合。
-中继镜片激光定位(RME):
RME演示了一束从地球发射到450公里轨道上人造卫星的激光可以被精确地反射到直径3米的目标地面。
-半导体圆晶片制造中的超高精确激光聚焦位置、关键尺寸和对齐控制:
-精确望远镜定位
-磁悬浮轴定位


 


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