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P63  芯明天P63 XYZ系列纳米定位平台

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面议
公司名称:
哈尔滨芯明天科技有限公司
所在地区:
哈尔滨市
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产品型号:
P63
更新时间:
2016-11-16 09:55
厂商性质:
生产商
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本网采购热线:0571-87759942

产地 国产 加工定制

P63.XYZ是一个超高性能闭环压电扫描系统,为AFM、SPM和纳米操作等应用而设计,超低惯性,高速XYZ扫描,内部装置传感器实现闭环控制。除超精准定位外,XP-363.XYZ还具备体积非常小,结构紧凑等特点,尺寸为30*30*42mm,易于集成到其他扫描装置中。

芯明天P63 XYZ系列纳米定位平台 详细信息

型号

P63.XYZS

单位

公差

驱动轴

X,Y,Z

 

 

X、Y、Z轴开环行程

7

um

±20%

X、Y、Z轴闭环行程

7

um

±20%

传感器

SGS

 

 

闭环/开环分辨率

0.6/0.2

nm

典型值

线性度

0.1

%F.S.

典型值

重复定位精度

0.05

%F.S.

典型值,满量程

最大负载

500

g

最大

静电容量

0.8/轴

uF

±20%

X,Y轴空载响应频率

1600

Hz

±20%

Z轴空载响应频率

3000

Hz

±20%

外形尺寸(长*宽*高)

30*30*42

mm

 

重量

200

g

±5%


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