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MP700S  高性能磁控溅射镀膜系统

MP700S 高性能磁控溅射镀膜系统

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面议
公司名称:
上海续波光电技术有限公司
所在地区:
上海市
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产品型号:
MP700S
更新时间:
2013-12-19 23:34
厂商性质:
代理商
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本网采购热线:0571-87756399
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本磁控溅射镀膜系统可以沉积各种金属、半导体、非金属薄膜,又特别适合用于超导量子结、约瑟夫森结等量子器件的制备,例如:超导Nb、NbN、NbTiN等,典型用户包括:格拉斯哥大学、法国波尔多第一大学、法国科学研究中心(CNRS)、CEA、加拿大滑铁卢大学等。欢迎联系我们索取详细资料!
关键词:PVD,物理气相沉积,磁控溅射,微机电系统,MEMS, 量子器件,约瑟夫森结,Nb, NbN, NbTiN

高性能磁控溅射镀膜系统 详细信息

磁控溅射镀膜系统——用于超导体(Nb, NbN, NbTiN ) 

圆柱形主腔体:电抛光不锈钢

低温泵+干泵,真空度< 4×10 -8 Torr。

          三个6’’ DC磁控靶源,最大可达8英寸;

          分别配备独立挡板,无交叉污染。

          RF加载到DC靶源可选,可用DC/RF。

          氩气和氮气气路可用

4’’衬底加热:最高750℃, 均匀性5内;单色光学高温计

          样品台冷却:水冷

          石英晶振监测(DC/RF模式下均可)

          衬底RF刻蚀及偏压(13.56MHz,气冷)

LOAD LOCK (带自动传动手臂)

          分子泵+干泵,真空度< 2×10-7 Torr

          全自动传动衬底

控制单元:全自动电脑控制,半自动和手动模式可选;远程维护可用。


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