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S48 300/HMT  北京S48 300气体流量计厂家,质量流量计型号,流量计产品

S48 300/HMT 北京S48 300气体流量计厂家,质量流量计型号,流量计产品

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产品报价:
1元
公司名称:
北京堀场汇博隆精密仪器有限...
所在地区:
北京市
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产品型号:
S48 300/HMT
更新时间:
2014-02-17 14:52
厂商性质:
生产商
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本网采购热线:0571-87756399
0571-87759942

专业质量流量计/质量流量控制器研发厂家-堀场汇博隆
产品适用于各种气体,精度高,零漂小,无需矫正可任意角度安装。
公司联系电话:400-018-8101
公司网站:www.horibametron.com

北京S48 300气体流量计厂家,质 详细信息

S48 300/HMT质量流量控制器的特点

☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上,结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品,采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。

☆ RS232/485串口, Modbus(RTU)开放协议。协议简单可靠,兼容性强,易于组网。配合上位机,可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。

☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小,工作压力范围宽。 

☆主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。

☆可任意角度安装。

☆兼容数字和模拟控制及显示,使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。

配合MT-50或51系列流量显示仪,可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。

 

 

使用范围

质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。

 

 

S48 300/HMT数字流量控制器技术指标

编号

项目

S48 300/HMT

1

流量规格

(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

3

调节阀静止状态

常闭

4

安装角度

任意

5

流量控制范围

2%-100%F.S.

6

流量测量范围

0-100%F.S.

7

响应时间

≤ 1 sec

8

工作环境温度

5-50℃

9

精度保证温度

15-35℃

10

精度

±1.0% S.P.(≥30% F.S.);±0.30% F.S.(<30% F.S.)

11

线性精度

±0.5%F.S.

12

重复性

±0.2%F.S.

13

工作压差

-5L/min (50-300)kPa(D)                         10L/min-30L/min (100-300)kPa(D)                50L/min (150-300)kPa(D)

14

耐压

3MPa(G)

15

泄漏率

<1×10-8Pa·m3/s(He)

16

接触气体材料

316L,Viton® 氟橡胶,PTFE

17

管路接头

Swagelok:Φ6mm,Φ10mm,Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″

18

供电电源

±15V(±5%),+15V,150mA;-15V,200mA

19

设定信号

数字:RS485/RS232

模拟:0 - +5V,输入阻抗>10kΩ

20

流量输出信号

数字:RS485/RS232

模拟:0 - +5V,负载能力≤3mA

21

通讯接口

数字RS232/RS485,波特率4800/9600/19200bps,

Modbus RTU 协议从机,设备号可选范围0-15

22

重量(kg)

0.9


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    信息内容:质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
    ☆具有流量气流响应速度快、过冲小等特点。
    ☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小,工作压力范围宽。
    ☆主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。
    ☆可任意位置安装。

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