PAL/pro/UV紫外激光器
1、可调谐范围跨过紫外区域，可代替193nmArF和KrF248nm的准分子激光器。
2、具有固体激光器的简单可靠性。
3、光谱线宽小于30MHz在基频，在193nm线宽低于25飞米。
4、重复频率:10~30Hz
5、单纵模，输出波长稳定性<300MHz/天
6、M2<1.3
7、易于升级和维护，使用可靠的101PAL模块。
8、革命性的二极管注入种子光（D
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PAL/pro/UV紫外激光器 详细信息
1、可调谐范围跨过紫外区域，可代替193nmArF和KrF248nm的准分子激光器。
2、具有固体激光器的简单可靠性。
3、光谱线宽小于30MHz在基频，在193nm线宽低于25飞米。
4、重复频率:10~30Hz
5、单纵模，输出波长稳定性<300MHz/天
6、M2<1.3
7、易于升级和维护，使用可靠的101PAL模块。
8、革命性的二极管注入种子光（DLIS）技术和ACLS技术
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