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ET150  日本Kosaka台阶仪轮廓仪ET150

ET150 日本Kosaka台阶仪轮廓仪ET150

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产品报价:
500000元
公司名称:
上海昭沅仪器设备有限公司
所在地区:
上海市
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产品型号:
ET150
更新时间:
2015-03-25 16:32
厂商性质:
经销商
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KOSAKA ET150基于 Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。

日本Kosaka台阶仪轮廓仪ET150 详细信息

Kosaka ET150台阶仪 

    株式会社小坂研究所(KOSAKA)是于1950年创立,也是日本第一家发表光学杠杆表面粗糙度计,是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为最具代表性单位且在日本精密测定也占有一席无法被取代的地位。

 

     KOSAKA ET150基于 Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。

    ET150配备了各种型号探针,提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头,彩色 CCD原位采集设计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。

 

产品特点:

二次元表面解析,可测量段差

高精度、高分辨率和良好的再现性

FPD面板显示,可测定微细表面形状、段差、粗度等

低测定力,可测定软质材料

 

主要应用---膜厚测量

制程机台(如曝光机、溅镀机、蚀刻机)best recipe 找寻。例如:PVDCVDDLC真空溅镀薄膜台阶、应力测试及软质光阻材料等薄膜台阶测量。

 

技术参数:

型号

ET150

最大样品尺寸

φ160x48mm

样品台

尺寸

φ160

倾斜度

±2°(X,Y手动)

承重

2Kg

检出器

触针力

10μN-500μN(1mg-50mg)

范围

600μm(0.1nm分辨率)

驱动

直动式(差动变压器)

触针

R2μm  顶角60°

X

最大测长

100mm

直线度

0.02μm/100mm

速度

0.005-20mm/s

重复性

±5μm(定位)

Y

最大测长

25mm/手动

Z

最大测长

50mm

放大倍数

垂直

50-2000000

水平

1-10000

监控系统

摄像装置

1/3 inch CCD

监视装置

视频捕捉板

移动方法

手动

辅助功能

教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等

应用

成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度

重复性

1σ1nm

电源

AC90-240V  50/60Hz 300VA

外观尺寸

W500xD440xH630mm 120Kg(不含防震台)

 

 


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