真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。中文名真空镀膜机外文名vacuumcoatingmachine别名真空镀膜设备主要思路采用等离子技术,在真空条件下,制备纯度高的金属膜、化合物膜等适用范围半导体、显示、光伏、工具镀膜、装饰镀膜、功能镀膜等。1简介需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使
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