二次离子质谱(secondaryionmassspectroscopy),是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器,它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面,使样品表面的分析吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,通过质量分析器收集、分析这些二次离子,就可以得到关于样品表面信息的图谱。中文名二次离子质谱外文名secondaryionmassspectroscopy别称次级离子质谱、离子探针原理用一次离子束轰击表面1原理用一次离子束轰击表面,将样品表面的原子溅射出来成为带电的离子,然后飞行时间或者磁偏转质谱仪分析离子的荷/质比,便可知道表面的
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