GDMS是[1]辉光放电质谱法(glowdischargemassspectrometry)的简称。是利用辉光放电源作为离子源与质谱仪器联接进行质谱测定的一种分析方法。GDMS在多个学科领域均获得重要应用。在材料科学领域,GDMS成为反应性和非反应性等离子体沉积过程的控制和表征的工具。GDMS已成为无机固体材料,尤其是高纯材料杂质成分分析的强有力方法。1应用领域辉光放电的主要应用是利用其发光效应(如霓虹灯、日光灯)以及正常辉光放电的稳压效应(如氖稳压管)。利用辉光放电的正柱区产生激光的特性,制做氦氖激光器。低压气体放电的一
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