表面分析是对固体表面或界面上只有几个原子层厚的薄层进行组分、结构和能态等分析的材料物理试验。也是一种利用分析手段,揭示材料及其制品的表面形貌、成分、结构或状态的技术。中文名表面分析外文名surfaceanalysis分析内容表面化学组成、表面原子态等方法离子探针、AES、XPS等特点分析灵敏度高(原子层次)应用材料性能研究1表面分析概况自20世纪60年代中期金属型超高真空系统和率微弱信号电子检测系统的发展,导致70年代初现代表面分析仪器商品化以来,至今已产生了约50种表面分析技术。表面分析技术发展的动力来
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