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仪表网>产品库>实验仪器>试验机械>弹性模量、阻尼分析仪>三维XYZ向压电纳米定位台
  • 三维XYZ向压电纳米定位台

XP-62X 三维XYZ向压电纳米定位台

参考价
面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号XP-62X
  • 品牌芯明天
  • 所在地哈尔滨市
  • 更新时间2022-11-17
  • 厂商性质生产厂家
  • 入驻年限7
  • 实名认证已认证
  • 产品数量327
  • 人气值362959
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哈尔滨芯明天科技有限公司是专业从事微运动器(压电陶瓷)和微运动控制器(压电陶瓷控制器)产品的开发、生产、销售及服务的高科技企业,我们的微运动器和微运动控制器产品是推动微制造、微工业、微军事、微生物、微医疗、微光学等微观领域发展的核心技术,是了解和操纵微观世界的机器心脏。

   哈尔滨芯明天科技有限公司经过多年的项目研究与技术积累,拥有了自己的核心技术,开发出了系列化的微运动器与微运动控制器产品,广泛地应用于国内各高校、科研院所及生物显微镜、光学仪器、燃油喷射系统、微小器件加工机床的公司;公司与哈尔滨工业大学的多个研究所有着多年的密切合作关系,按照科研与产业化相结合的道路持续发展;公司拥有雄厚的技术储备和研发制造能力,并且拥有一群充满热情和富有创新能力的青年队伍。

   微运动器(压电陶瓷)产品是微小运动或微小变化的执行器,典型特点是体积小、重量轻、输出力大、功耗低、运动速度快、运动精度高、运动分辨率高。

   微运动控制器(压电陶瓷控制器)产品是控制微运动器如何产生和产生多大的微小运动或变化的控制器,与微运动器配套使用;具有液晶显示、智能控制算法、驱动功率大、嵌入式计算机控制等特点。

 

点击展示更多内容
产地国产 加工定制
三维XYZ向压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台,平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优 化,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有好的控制精度,分辨率和稳定 性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电平台体积小、结构紧凑易 于集成。
三维XYZ向压电纳米定位台 产品详情

    三维XYZ向压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台,平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优 化,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有好的控制精度,分辨率和稳定 性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电平台体积小、结构紧凑易 于集成。

特性:

 1~3维自由组合

• 位移行程8μm • 大承载0.8kg • 重复定位精度可达纳米级

• 亚毫秒响应时间

1-3维平移台

    P63系列压电纳米定位台,包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多种运动方式可选。超小体积易于集成配套。

 

典型应用

• 显微成像 • 纳米定位

• 生物技术 • 半导体技术

• 质量保证测试 • 微车削

• 原子力显微镜

 

小体积、高精度、响应速度快

   P63系列压电纳米定位台重要的特点是超级精密 且体积非常小巧,尺寸仅为30×24×42mm(X轴尺寸 为30×24×21mm),易于集成到任何扫描仪器中。

   P63系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统,是 为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设 计的,具有超低惯性,响应时间可达0.3ms,可配置 高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。

 

应用实例

   P63三维纳米定位台已经应用于基于SEM在线纳米切削平台切削 力测试实验中。

三维XYZ向压电纳米定位台技术参数:

 

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

P63.X7S

P63.X7K

P63.Z7S

P63.Z7K

P63.XY7S

P63.XY7K

P63.XZ7S

P63.XZ7K

P63.XYZ7S

P63.XYZ7K

 

单位

运动自由度

X

Z

X、Y

X、Z

X、Y、Z

 

标称行程范围(0~120V)

5.5

5.5

5.5/轴

5.5/轴

5.5/轴

μm±20%

大行程范围(-20~150V)

8

8

8/轴

8/轴

8/轴

μm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

 

闭/开环分辨率

0.2/0.1

0.2/0.1

0.2/0.1

0.2/0.1

0.2/0.1

nm

闭环线性度

0.2/-

0.2/-

0.2/-

0.2/-

0.2/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.15/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<5

<5

<10

<10

<15

µrad

推/拉力

10/2

12/2

8/2

9/2

7/2

N

运动方向刚度

1.5

2

X1.2/Y1.4

X1.2/Z1.5

X0.9/Y1/Z1.2

N/μm±20%

空载谐振频率

2

2.5

X1.3/Y1.9

X1.5/Z1.6

X0.9/Y0.95/Z1.2

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

1.5/0.3

1.5/0.3

1.5/0.3

1.5/0.3

1.5/0.3

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

1000

1000

500

500

200

 

Hz±20%

行程

200

200

100

100

50

大承载

0.8

0.8

0.5

0.5

0.4

kg

静电容量

0.8

0.8

0.8/轴

0.8/轴

0.8/轴

μF±20%

材质

 

重量

70

70

120

120

160

g±5%

 

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

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