分子束外延残余气体分析四极质谱仪
用于泄漏探测、趋势分析、真空诊断的过程监测和残余气体的精确分析。
该分子束外延特定分析质谱仪由兼容性材料组成,并能在分子束外延环境中*使用。
·钼铜布线增加MBE环境下系统的寿命
·抗污染离子源护罩
·双法拉第/ channelplate电子倍增器
·质量数范围: 1~300 amu
·扫描速度: 100amu
分子束外延残余气体分析四极质谱仪
用于泄漏探测、趋势分析、真空诊断的过程监测和残余气体的精确分析。
该分子束外延特定分析质谱仪由兼容性材料组成,并能在分子束外延环境中*使用。
·钼铜布线增加MBE环境下系统的寿命
·抗污染离子源护罩
·双法拉第/ channelplate电子倍增器
·质量数范围: 1~300 amu
·扫描速度: 100amu