日本HORIBA气体质量流量控制器 质量流量计

日本HORIBA气体质量流量控制器以魅力、价格实现从微小流量到大流量的控制；
高速响应，1秒内达到流量设定值。搭载了新设计的控制回路和高速应对的流量感应器，根据所接收到的电力信号，流量的初期安定性比较好，通过流量变化的实施程序使得能一直保持安定的流量进行测控。（大流量对应型号：SEC-E80在2秒内应对）
高精度，±1.0％F.S
高信赖性，具备自动调零功能
日本HORIBA气体质量流量控制器可进行准确的质量流量控制；所谓质量流量控制器，是计测质量流量，可根据所接收的电力信号，自动的进行任意流量的一种控制器。因此，即使使用环境（如温度、压力）发生变化变化，也不必进行修正，就能准确的进行质量流量控制。
采用自动流量功能阀门；流量控制阀门由于是采用自动流量功能功能控制型，当本体电源无供给时，阀门将自动调整为关闭状态。停电时也可以将流量控制在小限度内。

工作原理：
1、入口处进来的气体被分流到流量感应器和旁路处。
2、通过感应器得到按质量流量比例形成的温度变化信息，在回路中交换成电力信号。
3、该信号通过增幅回路、修正回路、以0-5V的线性电力信号向外部输出，另一方面又输入至比较控制回路中。
4、外部得到的设定信号和从感应器处得到的流量信号在比较回路中形成差异信号，再输送至下一个的阀门驱动回路中。
5、流量控制阀门尽可能使该差异信号将为“0”，使流量一直控制在设定流量。

• 規格

  SEC- (质量流量控制器)	E60
  适用气体种类*1	N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10
  气体接触部材质	SUS316.氟化橡胶、磁性不锈钢
  阀门型号	非通电时 关闭
  标准流量量程 (N2相应F.S.)	50/100 SLM
  流量控制范围 (适于SEC系列)	5- F.S.
  流量测量范围 (适于SEF系列)	0- F.S.
  响应速度	1秒以内(T98)
  流量精度	±1% F.S.
  直线性	±0.5% F.S.
  反复性	±0.5% F.S.
  工作差压值值(适于SEC系列)	100-300kPa(d)
  使用压力 (适于SEF系列)	350kPa(G)以下
  耐 压	1MPa(G)以下
  外部泄漏率	1×10-7Pa?m3/s(He)以下
  使用环境温度	5-45℃(精度的确保：15-35℃)
  流量设定信号	0.25-5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/5- F.S.
  流量输出信号	0-5VDC(小负荷电阻2kΩ)
  驱动电源	＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
  标准接头*2	3/8SWL 类型

• 技术规格

  *1:关于记载以外的气体种类，请另行咨询协商。
  *2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。
  ※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
  ※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：大值300kPa(G)；SEC-70/80：大值350kPa(G)以下。
  ※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。