LF420-B 整阀低泄漏热式气体质量流量控制器-气体流量计

整阀低泄漏热式气体质量流量控制器简要描述：用于对中大流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有精度高，稳定性好，模拟电路，可靠性高，安装简单，操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

 整阀低泄漏热式气体质量流量控制器产品特点：
  精度高、稳定性好、模拟电路、响应速度快
整阀低泄漏热式气体质量流量控制器产品用途：广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

整阀低泄漏热式气体质量流量控制器技术参数：
产品型号    LF420-BC    LF420-BM
满量程范围    SLM    30～40，50，100，150，200, 300
量程比    控制器50:1    流量计100:1
精度    ±2.0%F.S
线性    ±0.5%F.S
重复性    ±0.2%F.S
阀门类型    常闭阀
响应时间    ≤1S-3S
工作压差    0.1...0.5Mpa
大耐压    3MPa
工作环境温度    5...45℃
泄漏率    1×10-8Pa.m3/s
通信信号    0-5V / 4-20MA
供电方式    24VDC（250mA）
密封材料    丁晴橡胶  氟橡胶
接头尺寸    3mm  6mm  8mm  10mm  1/8” 1/4”  3/8”
电器接头    DB9针
热式气体质量流量计即Mass Flow Meter（缩写为MFM），它是气体流量计量中新型仪表，区别于其它气体流量计不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。