JEOL扫描电子显微镜经过改进照射系统、真空系统和信号处理系统,不仅能观察高质量的图像,还能利用触控屏和快速样品台进行高通量的直观操作。
*的功能JEOL扫描电子显微镜
高品质的图像
通过改进电子光学系统,使图像质量更高,成像和分析更快。减少了充放电现象
新的扫描方式能抑制非导电性样品的荷电效应。低真空模式(LV)
低真空压力范围从10 Pa 至 650 Pa,拓宽了可以观察的样品材料的范围。样品台导航系统
全自动5 轴马达驱动样品台提高了寻找感兴趣的区域(ROI)的速度。使用导航系统(选配件)在彩色图像上能迅速到达感兴趣的区域。分析
在高电流模式下,束流电流可高达1 μA ( 加速电压≥20 kV) 。
高性能的可变焦聚光镜大限度地减少了因探针电流改变而引起的图像和焦点漂移。
计算机控制的全对中样品台旋转 ,能很容易地对样品或感兴趣的区域定位。
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多功能
大型样品室和样品台
能容纳大型、较重的样品,可装载大尺寸为200 mm(φ)× 80 mm( H)、重达2 kg 的样品。几何设计的分析接口
多个接口可以安装EDS、EBSD 和WDS 等附件, EDS 和EBSD 处于同一平面,此外,还能安装两个相隔180 度的EDS 检测器用于高通量的显微分析。移动迅速的样品台
新开发马达驱动样品台能快速地定位 ( 与其它JEOL 的产品相比快1.5 倍)。全自动5 轴马达驱动样品台
采用了机械对中、五轴(X、 Y,、Z、T、R) 异步马达控制的样品台,当观察厚样品或当感兴趣区域(ROI) 不在倾斜轴的中心时,可利用标配的计算机控制的全对中倾斜和旋转校正功能。