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仪表网>产品库>分析检测>水分测定仪>露点仪>超纯气体在线式露点测试仪-露点仪
  • 超纯气体在线式露点测试仪-露点仪

Pura 超纯气体在线式露点测试仪-露点仪

参考价
面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号Pura
  • 品牌Michell/密析尔
  • 所在地无锡市
  • 更新时间2021-03-03
  • 厂商性质生产厂家
  • 入驻年限6
  • 实名认证已认证
  • 产品数量176
  • 人气值118787
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无锡森迈格测量技术有限公司是一家专业从事仪器仪表测量设备的技术开发和销售工作。并与国外仪器仪表生产厂商建立长期合作关系,同时公司具有良好的销售基础和技术能力,可以为客户解决任何问题。公司主要从事三*销售:芬兰-维萨拉,英国-密析尔,瑞士-罗卓尼克。主要销售的仪器类型有:温湿度传感器,温湿度变送器,温湿度记录仪以及露点传感器,冷镜式露点仪表等。为客户提供高品质的产品,是我们公司从不改变的诺言。我们热忱欢迎并致力于与国内、外有实力的渠道伙伴建立长期合作关系! 同时也竭诚欢迎国内、外客商前来参观,愿与您精诚合作,共铸辉煌明天!




点击展示更多内容
测量范围-120 ~ -40°CTd 产地进口 电源电压220VV
环境温度-40~60℃ 加工定制 外形尺寸120 x 35 x 150mm
仪器种类在线 准确度±1°CTd
Pura超纯气体在线式露点测试仪在很多超纯气应用,诸如半导体工业中,气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。用来在线测量露点值,下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。
超纯气体在线式露点测试仪-露点仪 产品详情

产品简介

Pura超纯气体在线式露点测试仪在很多超纯气应用,诸如半导体工业中,气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来,对湿气的持续追踪测量都是个难点,需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案,用来在线测量露点值,下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。

Pura超纯气体在线式露点测试仪是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出的适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。

产品特色

测量下限 -120°C 露点 (1 ppbV)

测量稳定,重复性好

高度集成的采样装置

模拟和数字输出

安装简便

VCR 过程接口

设计紧凑小巧

显示/报警单元可选

技术参数

传感器

传感器类型

密析尔陶瓷湿度传感器

量程

-120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)

精度

±1°C   -40 ~ -60°C;
±2°C   -61 ~ -100°C;
±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)

分辨率

0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
1°C           -80 ~ -100°C;

1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C

压力

zui低 10-9 torr; zui大 24 MPa

气体流量

1 ~ 5 Nl/min

电气

电源

通常 24 V DC, zui低10 V ~ zui高28 V , zui大电流 25 mA

输出

4-20 mA 输出, 对应范围可由软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供)
zui大负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8)

输出出错状态

标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限

机械性能

传感器套筒

不锈钢, 0.1-0.2 Ra µm 电镀内抛光

 

 

连接端口

Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口

安装配置

Premium 或 OEM 型: 120.00mm 长, 气路端口的端面密封. 无需预留管路空隙
底座上有 2 个 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔, 斜对面横竖间距均为 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 适用于用户提供的 ½" VCR 端口中

尺寸

Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm

重量

Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g

包装

Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 单层包装
所有选配件: 独立包装运输
Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作

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