特点
国内同类产品价格低
稳定性和可靠性高
±0.2%F.S.的高重复精度
满量程可以在 5SCCM到 10SLM的范围内任意定制
可应用于大多数腐蚀性气体
同类产品尺寸小
安装尺寸兼容
应用
真空镀膜设备
微反应装置
晶体制备设备
混气配气设备
燃烧测试设备
产品规格
流量规格(N2标定) 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
流量规格(N2标定) 0~1,2,3,5,10 SLM
准确度 ±1.5%F.S.
调节阀类型 常闭式
线性 ±1.5%F.S.
重复精度 ±0.2%F.S.
响应时间 ≤3sec
输入输出信号 0~+5.00V (输入阻抗大于100kΩ,输出电流不大于3mA)
电缆接头 DB15pin(针形)
工作环境温度 5~45℃
工作压差范围 0.1~0.5MPa (≤10SLM)
对外单点泄漏率 ≤1×10-8Pa·m3/S(He)
大耐压 3MPa