MicroXAM-800光学轮廓仪-仪表网

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翌颖科技(上海)有限公司主要为半导体、新能源企业和高校及研发中心提供各类精密进口制程及测量设备。提供全面的一对一*，技术支持，备件管理和咨询服务。

UNICORN是翌颖科技（上海）有限公司旗下的品牌

旗下有测厚仪，台阶仪，纳米压痕仪，椭偏仪等等多种仪器。

不同于大多数的设备分销公司，我们具备技术与丰富的行业经验，不光只为用户提供设备，同时也能提供设备具体应用及工艺方面的支持服务。

我们秉承“真诚，专注，信赖”的理念，用我们真诚的态度与行动服务客户，专注于为客户提供高品质、适合用户需求的产品，与每一位客户建立互相信赖的合作伙伴关系。

我们真诚希望与大家共同成长，共同发展，一起创造美好的明天。

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产地	国产	加工定制	是

MicroXAM-800光学轮廓仪
两者都是传统的相干扫描干涉技术（CSI）。MicroXAM进一步扩展了这些技术，它采用SMART Acquire为新手用户简化了程序设置，并且采用z-stitching干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。

MicroXAM-800光学轮廓仪产品详情

MicroXAM-800光学轮廓仪MicroXAM-800是一款基于白光干涉仪的光学轮廓仪，采用相位扫描干涉技术（PSI）对纳米级特征进行测量，以及采用垂直扫描干涉技术（VSI）对亚微米至毫米级特征进行测量。 MicroXAM-800的程序设置简单灵活，可以进行单次扫描或多点自动测量，适用于研发和生产环境。

产品描述：

MicroXAM-800光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。MicroXAM的白光干涉仪可以埃级分辨率对表面进行高分辨率测量。该系统支持相位和垂直扫描干涉测量，两者都是传统的相干扫描干涉技术（CSI）。MicroXAM进一步扩展了这些技术，它采用SMART Acquire为新手用户简化了程序设置，并且采用z-stitching干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。

MicroXAM测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关，因而能够在大视野范围内进行高分辨率测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。 MicroXAM的用户界面创新而简单，适用于从研发到生产的各种工作环境。

主要功能：

针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量
SMART Acquire简化了采集模式并采用已知的程序设置的测量范围输入
Z-stitching干涉技术采集模式，可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面
XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描
使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建，实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性
利用已知技术，从其他探针和光学轮廓仪转移算法

主要应用：

台阶高度：纳米级到毫米级的3D台阶高度
纹理：3D粗糙度和波纹度
形式：3D翘曲和形状
边缘滚降：3D边缘轮廓测量
缺陷复检：3D缺陷表面形貌

关键词：轮廓仪

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