MC系列气体质量流量控制器

响应式气体流量控制，抑制压力波动

性能的质量流量控制器只需将流量保持在您的设定值。艾里卡特MC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能快速实现稳定控制。

• 多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
• 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
• 耐用。可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可为您的MFC构建IP66等级防护。

更多产品信息请查看质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。

• Specs
• 定制
• 零件编号
• Applications

性能

• 可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）
• 可调比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
• 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
• 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
• 可重复性：0.2%满量程
• 标准质量流量控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
• 无需预热时间

工作条件

• 兼容气体：98（MC系列）或130（MCS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
• 工作温度：-10°C至+60°C
• 大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
• 耐受压力：175 psig（190 psia）

包装清单

• MC系列气体质量流量控制器（电源需另行订购）
• NIST可溯源校准证书
• 艾里卡特操作说明书

配件（需另行订购）

• 过程端口接头和过滤器
• 电源
• 通讯线缆和转换线缆
• BB3和BB9多点式集线盒
• Flow Vision软件