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MEGATORR公司蝶泳阀门MR30ITV000SN销售
非加热插槽蝶泳阀门MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605
通过阀部0～90°可变来进行真空压力控制的节流阀。各种真空室（蚀刻装置等）的压力控制可以快速响应，通过与AP系列控制器/电容计并用，可以在半导体等工艺中获得高速响应、真空压力控制。
MEGATORR公司蝶泳阀门MR30ITV000SN销售
MEGATORR公司蝶泳阀门MR30ITV000SN销售
非加热插槽蝶泳阀门MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605
通过阀部0～90°可变来进行真空压力控制的节流阀。各种真空室（蚀刻装置等）的压力控制可以快速响应，通过与AP系列控制器/电容计并用，可以在半导体等工艺中获得高速响应、真空压力控制。
宽带阀040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)
在以往的真空压力控制中，随着过程的多样化，压力控制范围也呈现出多样化的趋势，特别是在低真空（高压）下压力控制的需求增加。阀门加热温度也一样，随着过程气体的多样化，变得更需要温度。为了满足您的要求而开发的是这个宽带阀门。
宽压力控制范围：101.33kPa（大气压）～10Pa以下（760Torr～70mTorr以下）可以控制，还能加热到200℃。
株式会社タクミナTACMINA，新明和工业,EIM电机工业，东洋电机工业所，DYNAFLOダイナフロー株式会社，FURUKAWA古河产机システムズ,㈱キョーワKYOWA,FUKKO伏虎金属工业,TEIKOKUDENKI帝国电机制作所，NIKKISO EIKO日机装エイコ－,株式会社スプルト工业SPURT,株式会社ナカキンNAKAKIN,株式会社ジャポンCHEMICAL，SEIKOW星光化工机,株式会社ワールドケミカルWCC,株式会社 トーケミTOHKEMY,名东化工机，株式会社イワキIWAKI,龟嶋铁工所，大同机械制造,株式会社工进，友野工业株式会社， 安永エアポンプ株式会社,KISHIGAMI岸上バルブ(株),
UCHIYAMAVALVE 内山バルブ製作所,SAWAMURA VALVECO(株)沢村バルブ, NAKAKITA SEISAKUSHO
中北製作所, HAGIWARA VALVE萩原バルブ,AIKAWA VALVE相川バルブ製作所,TAKATORI鷹取製作所,
HINOMOTO BEN MFG日の本辨工業株式会社，OKANO VALVE 岡野バルブ製造，OSAKAKIKI大阪機器製造,MIZUNO水野ストレーナー工業,SHOWA VALVE昭和バルブ製作所,HVI平田バルブ工業，NAKAMURA VALVE中村バルブ製作所,YAMADA VALVE 山田バルブ製作所,SHINWA伸和コントロールズ,SR工程株式会社
