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七星华创质量流量控制器流量计
特点
• 橡胶密封、模拟电路的MFC
• 管状分流，使用寿命长D07-7是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量 。D07-7产品是七星流量计基础款产品，能满足客户流量测控基本需求。
七星华创质量流量控制器流量计
技术参数
| 编号 |
项目 |
D07-7K 型 |
D07-7B 型 |
D07-7C 型 |
D07-7CM 型 |
|
1 |
流量规格 |
(20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM
|
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
| 2 | 准确度 | ±1 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S |
| 3 | 线性 | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S |
|
4 | 重复精度 | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S |
| 5 | 响应时间 |
电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec
|
电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec |
电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec |
10 sec |
| 6 | 气压降 |
ˉ |
ˉ |
ˉ | <0.01 MPa |
|
7 | 工作压差范围 | (0.1 ~ 0.5) MPa | (0.1 ~ 0.5) MPa | (0.1 ~ 0.5) MPa | <0.01 MPa |
|
8 | 温度系数 | Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃; | ˉ | ˉ | ˉ |
|
9 | 最大工作压力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
| 10 | 耐压 | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa |
|
11 | 工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
| 12 | 输入输出信号 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V |
| 13 | 电源 | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA
|
|
14 | 外形尺寸 |
见图4 |
见图4 |
见图4 |
见图5 |
| 15 | 重量 | 1.1 kg | 1.1 kg | 1.1 kg | 0.92 kg |
D07-7是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量 。D07-7产品是七星流量计基础款产品，能满足客户流量测控基本需求。D07-7是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量 。D07-7产品是七星流量计基础款产品，能满足客户流量测控基本需求。
