Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™-仪表网

公司介绍主营产品

伯东公司成立于1953 年，范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供好的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。

上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。

上海伯东作为真空品牌**代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有*的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

点击展示更多内容

产品简介在线询价

上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston, 通过使用分子传感技术, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断, 为半导体过程控制提供解决方案, 提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 在现有生产工艺工具上加装 Aston, 可在短时间内实现晶圆更高产量!

Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 产品详情

Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 技术规格：

实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝
半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据
采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用
可与大批量生产工具*集成
Aston™ 过程质谱分析仪作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.

Aston™ 过程质谱分析仪技术参数

类型	Impact-300	Impact-300DP	Plasma-200	Plasma-200DP	Plasma-300	Plasma-300DP
型号	AST3007	AST3006	AST3005	AST3004	AST3003	AST3002
质量分离	四级杆
真空系统	分子泵	分子泵隔膜泵	分子泵	分子泵隔膜泵	分子泵	分子泵隔膜泵
检测器	FC /SEM
质量范围	2-285		2-220		2-285
分辨率	0.8±0.2
检测限	0.1 PPM
工作温度	15-35“℃
功率	350 W
重量	15 kg
尺寸	299 x 218 x 331 LxWxH(mm)		400 x 240 x 325 LxWxH(mm)

Atonarp  Aston™ 应用: 半导体工艺过程控制和优化的重大发展, 提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率
Aston™ 是一款全新设计坚固耐用的紧凑型在线质谱仪, 适用于半导体制造和工业过程控制应用中气体监测和控制, 高定量精度和实时性与生产稳健性和可靠性相结合, 例如半导体 dry pump 尾气侦测分析, 实现在线监控,诊断.
CVD / ALD: 氧化物-氮化物过渡及成分分析
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching:识别跟踪分子
Aston™ 半导体在线质谱仪应用

若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东: 叶小姐                                   中国台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958

现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东叶小姐 1391-883-7267
上海伯东版权所有, 翻拷必究！

关键词：过程控制质谱仪在线质谱

热门产品

产品名称	参考价	地区	公司名称	更新时间
Orbitrap Astral高分辨质谱仪	￥7500000	上海市	赛默飞色谱及痕量元素分析	2023-10-30	在线询价
NexION 2000 等离子体质谱仪	面议		珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司	2023-10-19	在线询价
IKEIDARIKA池田理化质谱仪RADIAN ASAP	￥600	深圳市	深圳市井泽贸易有限公司	2023-02-28	在线询价
FAST ComTec质谱仪 FAST ComTec 计数器模块	面议	上海市	希而科工业控制设备（上海）有限公司	2021-03-10	在线询价
IKEIDARIKA池田理化飞行质谱仪SYNAPT XS	￥600	深圳市	深圳市井泽贸易有限公司	2023-02-28	在线询价
IKEIDARIKA池田理化质谱仪SQD2	￥600	深圳市	深圳市井泽贸易有限公司	2023-02-28	在线询价

免责申明

所展示的信息由会员自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责，仪表网对此不承担任何责任。仪表网不涉及用户间因交易而产生的法律关系及法律纠纷，纠纷由您自行协商解决

友情提醒：本网站仅作为用户寻找交易对象，就货物和服务的交易进行协商，以及获取各类与贸易相关的服务信息的平台。为避免产生购买风险，建议您在购买相关产品前务必确认供应商资质及产品质量。过低的价格、夸张的描述、私人银行账户等都有可能是虚假信息，请采购商谨慎对待，谨防欺诈，对于任何付款行为请您慎重抉择！如您遇到欺诈等不诚信行为，请您立即与仪表网联系，如查证属实，仪表网会对该企业商铺做注销处理，但仪表网不对您因此造成的损失承担责任！

相关产品分类更多+