1 概述
CYX12系列注油芯体压力传感器选用的高稳定、高精度硅压力芯片，采用应力优化设计的烧结座，通过贴片、金丝键合、膜片焊接、高真空注油、压力循环去应力、高温老炼、温度补偿等工艺生产。产品具有的稳定性和优良的性能。
小型化的外形尺寸为满足用户整机小尺寸而设计。应用于与316L不锈钢及丁晴橡胶或氟橡胶相兼容介质的压力检测。
2 产品特点
- 测量范围 0kPa～600kPa…100MPa
- 具有表压G、绝压A和密封表压S形式
- 恒流供电
- 隔离式结构，适用于多种流体介质
- Φ12.6mm 压力注油芯体
- 全316L不锈钢材质
- 钽膜片可定制
3 主要用途
- 工业过程控制 ● 油井监测 ● 气体、液体压力测量
- 压力检测校准仪表 ● 压力开关及液压系统 ● 消防物联网
4 技术指标
4.1 电气性能
- 供电电源：≤3.0mA
- 电气连接： 0.2mm2四色100mm 硅橡胶软导线
- 共模电压输出：电流型输入的 50%(典型值)
- 输入阻抗：2.7kΩ～5kΩ
- 输出阻抗：3.0kΩ～6kΩ
- 响应时间(10%～90%)：＜1ms
- 绝缘电阻：500MΩ/100V DC
- 允许过压：1.5 倍满量程
4.2 结构性能
- 膜片材质：不锈钢 316L
- 壳体材质：不锈钢 316L
- 管脚引线：镀金柯伐
- 密封圈：丁晴橡胶、氟橡胶（可选）
- 净重量：约 10g
4.3 环境条件
- 振动：在 10gRMS，（20～2000）Hz 条件下无变化
- 恒定加速度：100g，11ms
- 介质兼容性：316L和丁晴橡胶（可选氟橡胶）的液体或气体
4.4 基准条件
- 介质温度：（25±3）℃
- 环境温度：（25±3）℃
- 湿度：（50%±10%）RH
- 环境压力：（86～106）kPa
- 电源：（1.5±0.0015）mA DC
4.5 标准量程灵敏度输出及可选压力形式
| 量程 | 满量程 输出(mV) | 典型值 | 压力 形式 |
| 量程 | 满量程 输出(mV) | 典型值 | 压力形式 |
| 0～600kPa | 90～120 | 100 | G/A | 0～10MPa | 180～230 | 200 | S/A | |
| 0～1.0MPa | 80～120 | 100 | G/A | 0～25MPa | 140～170 | 150 | S/A | |
| 0～1.6MPa | 125～185 | 150 | G/A | 0～40MPa | 230～280 | 250 | S/A | |
| 0～2.0MPa | 50～70 | 60 | G/A | 0～60MPa | 100～160 | 130 | S/A | |
| 0～3.5MPa | 100～120 | 110 | G/S/A | 0～100MPa | 100～150 | 120 | S/A | |
| 0～7.0MPa | 120～150 | 135 | S/A |
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4.6 基本参数
| 参 数 | 典型值 | 值 | 单 位 |
| 满量程输出 | 100 | 250 | mV |
| 零位输出 | ±1 | ±2 | mV |
| 非 线 性 | 0.2 | 0.5 | %FS |
| 迟 滞 | 0.05 | 0.08 | %FS |
| 重 复 性 | 0.05 | 0.08 | %FS |
| 输入/输出阻抗 | 2.6 | 5.0 | kΩ |
| 零点温漂 | ±0.4 | ±1.0 | %FS,@25℃ |
| 灵敏度温漂 | ±0.4 | ±1.0 | %FS, @25℃ |
| 长期稳定性 | 0.2 | 0.3 | %FS/年 |
| 激励电流 | 1.5（输入电压可10V） | mA | |
| 绝缘电阻 | 500（100VDC） | MΩ | |
| 补偿温度 | -10℃～70℃ | ℃ | |
| 工作温度 | -40～+125 | ℃ | |
| 存储温度 | -40～+125 | ℃ | |
| 响应时间 | ≤1 | ms | |
| 外壳和膜片材料 | 316L不锈钢 |
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| O型密封圈 | 氟橡胶、丁腈橡胶、硅橡胶 |
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| 测量介质 | 与316L、丁腈橡胶或氟橡胶或硅橡胶兼容的流体 |
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| 寿命（25℃） | ＞1×108压力循环（80%FS） | 次 | |
| 填充介质 | 硅油 |
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| 密封圈 | Φ10×1.3mm（丁晴或氟化橡胶注1） |
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| 注1：氟橡胶密封圈耐温度范围是-20℃～200℃，低温性能较差，当温度范围低于-20℃， 请谨慎选用。 | |||
5 选型结构
5.1 芯体选型型号及外形图
| 系 列 | 量 程 | 型 号 | 外 形 图 |
| CYX12 | 600kPa～10MPa | CYX1201 |  |
| 25MPa～100MPa | CYX1202 | |
5.2 选型指南
*工艺标识：f表示通用工艺，Y表示负压工艺。
6 原理图及接线方式
IN+(红线)-供电正 IN-(黑线)-供电负 S+(黄线)-输出正 S-(蓝线)-输出负
7 应用提示
- 压力芯体的密封方式推荐选用侧壁O型圈的“悬浮式”密封结构，避免前端面压紧，防止影响压力芯体的稳定性。
- 注意保护压力芯体前膜片和后端的补偿电路板，以免碰伤影响压力芯体的性能或造成芯体损坏。
- 外壳芯体腔应设计成锥形角，容易芯体装配，可防止直角划伤密封圈。
- 装配时注意芯体尺寸与变送器外壳內壳的公差配合，建议腔体按芯体直径的+0.02～+0.05加工，以达到所要求的气密性。
- 装配时要垂直放正，均匀用力下压，以防卡壳或压坏补偿片。
- 禁用手或坚硬物按压金属膜片，避免因芯片变形或穿孔而导致芯体损坏。
- 接线时芯体管脚不宜剪得太短，长度一般不小于5mm，焊接时间不大于5秒。
- G型芯体后部通气管要保持与大气相通；禁止水、水汽或腐蚀性介质进入芯体后部的参考腔。
- 避免跌落摔碰等，会影响产品稳定性。
- 管脚引线若有变化，以芯体实物携带标签为准。
