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AL110/MX61
自动晶圆搬送机/200mm,半导体检查显微镜
●用于100mm/125mm/150mm晶圆搬送及检查（AL110-8）
●.用于200mm晶圆搬送机检查,200/150mm晶圆交替检查可能（AL110-8）
●非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性
●灵活的程式设计,zui短的搬送时间*的提高了生产效率
●AL110-12 300mm晶圆自动搬送机台（NEW）
| 型号
项目
| 200mm型
| 200/150mm兼容性
| 100/125/150mm兼容性
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| L
| LM
| LB
| MB
| LMB
| L
| LM
| LB
| MB
| LMB
| L
| LM
| LBM
| ||
|
晶圆直径
| 150mm晶圆平边（Flat）,200mm切口（Notch）
|
O
|
O
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| ||||||||||
| 150mm晶圆平边（Flat）
|
| O
|
| |||||||||||
| 100mm/125mm/150㎜, 晶圆平边（Flat）
|
|
|
O
| |||||||||||
| 片盒
| Fluoroware,H-bar型
| O
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| 片盒数量
| 1
| O
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| 观察方法
| 连续和采样
| O
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转换方式
| 正面宏观检测
| O
| O
| O
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| O
| O
| O
| O
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| O
| O
| O
| O
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| 背面宏观检测
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| O
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| O
| O
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| O
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| O
| O
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| O
| O
| |
| 2次背面检测
|
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| O
| O
| O
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| O
| O
| O
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| O
| |
| 表面显微观测
|
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| O
| O
| O
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| O
| O
| O
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|
| O
| |
| 定位平边（Flat）,切口（Notch）校准
|
每90°一次
|
O
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| 非接触对中
| O
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|
转移晶圆
| 带真空吸附功能的自动机械臂
|
O
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| 可使用显微镜*2
|
MX61/MX61L型
| O
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| 规格（mm）
| 580（W）×580（D） ×297（H）
| 490（W）×520（D） ×297（H）
| ||||||||||||
| 重量（kg）
| 30
| 32
| 31
| 31
| 33
| 30
| 32
| 31
| 31
| 33
| 26
| 28
| 30
| |
| 能耗
| 电源;: AC100- 120V0.90A, 或AC200-240V0.55A 50/60Hz, 真空压力; -67kPa～-80 kPa
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