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CMI900/950系列X射线荧光测厚仪能够测量多种几何形状、各种尺寸的样品；并且测量点zui小可达0.025 x 0.051毫米。
CMI900系列采用开槽式样品室，以方便对大面积线路板样品的测量。
CMI900/950系列X射线荧光测厚仪
Advanced Materials Analysis Instrument
CMI900/950系列X射线荧光测厚仪能够测量多种几何形状、各种尺寸的样品；并且测量点zui小可达0.025 x 0.051毫米。
CMI900系列采用开槽式样品室，以方便对大面积线路板样品的测量。它可提供五种规格的样品台供用户选用，分别为：
- 标准样品台：XY轴手动控制、Z轴自动控制。
- 扩展型标准样品台：XY轴手动控制、Z轴自动控制。
- 可调高度型标准样品台：XY轴手动控制、Z轴自动控制。
- 程控样品台：XYZ轴自动控制。
- 超宽程控样品台：XYZ轴自动控制。
CMI950系列采用开闭式样品室，以方便测定各种形状、各种规格的样品。同样，CMI950可提供四种规格的样品台供用户选用，分别为：
- 全程控样品台：XYZ三轴程序控制样品台，可接纳的样品zui大高度为150mm，XY轴程控移动范围为300mmx 300mm。此样品台可实现测定点自动编程控制。
- Z轴程控样品台：XY轴手动控制，Z轴自动控制，可接纳的样品zui大高度为270mm。
- 全手动样品台：XYZ三轴手动控制，可接纳的样品zui大高度为356mm。
- 可扩展式样品台用于接纳超大尺寸样品。
CMI900/950主要技术规格如下：
| No. | 主要规格 | 规格描述 | |
| 1 | X射线激发系统 | 垂直上照式X射线光学系统 | |
| 空冷式微聚焦型X射线管，Be窗 | |||
| 标准靶材：Rh靶；任选靶材：W、Mo、Ag等 | |||
| 功率：50W（4-50kV，0-1.0mA）－标准 75W（4-50kV，0-1.5mA）－任选 X射线管功率可编程控制 | |||
| 装备有安全防射线光闸 | |||
| 2 | 滤光片程控交换系统 | 根据靶材，标准装备有相应的一次X射线滤光片系统 | |
| 二次X射线滤光片：3个位置程控交换，Co、Ni、Fe、V等多种材质、多种厚度的二次滤光片任选 | |||
| 位置传感器保护装置，防止样品碰创探测器窗口 | |||
| 3 | 准直器程控交换系统 | zui多可同时装配6种规格的准直器，程序交换控制 | |
| 多种规格尺寸准直器任选： －圆形，如4、6、8、12、20 mil等 －矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等 | |||
| 4 | 测量斑点尺寸 | 在12.7mm聚焦距离时，zui小测量斑点尺寸为：0.078 x 0.055 mm（使用0.025 x 0.05 mm准直器） | |
| 在12.7mm聚焦距离时，zui大测量斑点尺寸为：0.38 x 0.42 mm（使用0.3mm准直器） | |||
| 5 | X射线探测系统 | 封气正比计数器 | |
| 装备有峰漂移自动校正功能的高速信号处理电路 | |||
| 6 | 样品室 | CMI900 | CMI950 |
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| －样品室结构 | 开槽式样品室 | 开闭式样品室 |
| －zui大样品台尺寸 | 610mmx 610mm | 300mmx 300mm | |
| －XY轴程控移动范围 | 标准：152.4 x 177.8mm 任选：50.8mmx 152.4mm 50.4mm x 177.8mm 101.6 x 177.8mm 177.8 x 177.8mm 610mm x 610mm | 300mmx 300mm | |
| －Z轴程控移动高度 | 43.18mm | XYZ程控时，152.4mm XY轴手动时，269.2mm | |
| －XYZ三轴控制方式 | 多种控制方式任选：XYZ三轴程序控制、XY轴手动控制和Z轴程序控制、XYZ三轴手动控制 | ||
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| －样品观察系统 | 高分辨、彩色、实时CCD观察系统，标准放大倍数为30倍。50倍和100倍观察系统任选。 | |
| 激光辅助光自动对焦功能 | |||
| 可变焦距控制功能和固定焦距控制功能 | |||
| 7 | 计算机系统配置 | IBM计算机：2.8G奔腾IV处理器，256M内存，1.44M软驱，40G硬盘，CD-ROM，鼠标，键盘，15寸液晶，56K调制解调器。惠普或爱普生彩色喷墨打印机。 | |
| 8 | 分析应用软件 | 操作系统：Windows2000中文平台 中文分析软件包：SmartLink FP软件包 | |
| －测厚范围 | 可测定厚度范围：取决于您的具体应用。请告诉牛津仪器您的具体应用，我们将列表可测定的厚度范围 | ||
| －基本分析功能 | 无标样检量线测厚，可采用一点或多点标准样品自动进行基本参数方法校正。牛津仪器将根据您的应用提供必要的校正用标准样品。 | ||
| 样品种类：镀层、涂层、薄膜、液体（镀液中的元素含量） | |||
| 可检测元素范围：Ti22 – U92 | |||
| 可同时测定5层/15种元素/共存元素校正 | |||
| 组成分析时，可同时测定15种元素 | |||
| 多达4个样品的光谱同时显示和比较 | |||
| 元素光谱定性分析 | |||
| －调整和校正功能 | 系统自动调整和校正功能：校正X射线管、探测器和电子线路的变化对分析结果的影响，自动消除系统漂移 | ||
| 谱峰计数时，峰漂移自动校正功能 | |||
| 谱峰死时间自动校正功能 | |||
| 谱峰脉冲堆积自动剔除功能 | |||
| 标准样品和实测样品间，密度校正功能 | |||
| 谱峰重叠剥离和峰形拟合计算 | |||
| －测量自动化功能 （要求XY程控机构） | 鼠标激活测量模式：“Point and Shoot” | ||
| 多点自动测量模式：随机模式、线性模式、梯度模式、扫描模式、和重复测量模式 | |||
| 测量位置预览功能 | |||
| 激光对焦和自动对焦功能 | |||
| －样品台程控功能 （要求XY程控机构） | 设定测量点 | ||
| One or Two Datumn （reference） Points on each file | |||
| 测量位置预览（图表显示） | |||
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| －统计计算功能 | 平均值、标准偏差、相对标准偏差、zui大值、zui小值、数据变动范围、数据编号、CP、CPK、控制上限图、控制下限图 | |
| 数据分组、X-bar/R图表 | |||
| 直方图 | |||
| 数据库存储功能 | |||
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| |||
| －系统安全监测功能 | Z轴保护传感器 | ||
| 样品室门开闭传感器 | |||
| 操作系统多级密码操作系统：操作员、分析员、工程师 | |||
| －任选软件 | 统计报告编辑器允许用户自定义多媒体报告书 | ||
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液体样品分析，如镀液中的金属元素含量 | |||
| 材料鉴别和分类检测 | |||
| 材料和合金元素分析 | |||
| 贵金属检测，如Au karat评价 | |||
