SJ6000 中图仪器激光干涉仪

一.中图仪器激光干涉仪显著特点

1.测量精度高、速度快，稳定性好

①使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。

二.中图仪器激光干涉仪功能

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、zui高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有*的精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。

三.执行标准

四.中图激光干涉仪技术参数

• 测量方式：单频

• 稳频精度：0.05ppm

• 动态采集频率：50 kHz

• 预热时间：5-10分钟

• 工作温度范围：0~40℃

• 环境温度范围：0~40℃

• 存储温度范围：-20℃~70℃

• 空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

• 材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

• 空气湿度传感器：±6% (0-95%)

• 大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)

• 测量距离：0-40m

• 测量精度：0.5ppm (0-40℃)

• 测量分辨率：1nm

• 测量zui大速度：4m/sec