七星华创展重大专项核心流量计产品

　　【仪表网 仪表企业】北京七星华创电子股份有限公司日前携CS系列数字式气体质量流量控制器参展国家“十二五”科技创新成就展。
　　

　　此次国家“十二五”科技创新成就展重点展示“十二五”以来的重大科技成果和重要工作进展。展览内容共分“总况、重大专项、基础研究、战略高技术、农业科技、民生科技、区域创新、大众创业万众创新、创新人才、融入创新网络”十个展区。七星电子生产的流量计作为02重大专项中关键核心部件产品，受邀展出。
　　
　　大规模集成电路芯片制造的许多关键工艺例如刻蚀、PVD、CVD、扩散炉等工序都要求对工艺气体的流量进行的控制，而气体质量流量控制器是对气体流量进行精密测量和控制的核心部件，在半导体设备中具有极其重要的作用。
　　
　　在七星电子的CS系列产品问世前，中国大陆的半导体生产线所用的气体质量流量控制器基本由国外产品所垄断。一直以来严重制约了我国集成电路制造行业的良性发展。在国家02专项的支持下，项目团队深挖市场需求，采用创新的传感器设计，重视软件开发，研制出CS系列数字产品，打破了我国集成电路装备所需气体质量流量控制器长期依赖进口的局面。
　　
　　产品技术指标在洁净度、小流量、准确度，响应时间、宽电源等方面达到了先进水平，并且在本土化服务等方面具备优势。产品已经在中芯、上海华虹宏力、北方微电子等大规模集成电路生产线和半导体设备上使用，取得了良好的效果，通过专项技术延伸已成功应用在光伏电池、LED、真空、石油化工等多个领域，为我国众多行业提供了高水平的气体流量控制解决方案。自产品推向市场以来，累计销售近40000余台，出口12000余台，取得了良好的经济和社会效益。
　　
　　在展览中，七星电子气体质量流量控制器，同载人航天和探月工程、天河二号超级计算机、北斗导航系统、蛟龙号载人深潜器等战略高技术产品一同展示，也体现了国家对大规模集成电路中的核心部件的重视。