【仪表网 仪表会议】自1984年以来，“固态传感器、执行器及微系统研讨会”（The Solid State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop）一直都是高水平MEMS新技术的展示舞台。该研讨会是MEMS领域具竞争力的会议之一，众多提交的参会文摘中，只有10%的论文能够荣幸获得演讲机会。
该研讨会是窥视未来商业化产品的窗口。例如，早期的研讨会上出现了许多关于MEMS加速度计和陀螺仪的论文，不久这些产品就逐渐在市场上占据主导地位。
麦姆斯咨询报道，在近些年的固态传感器、执行器及微系统研讨会上，出现了令硅材料从业者感到不安的趋势——关于硅材料技术的论文数量逐年降低。在2016年6月的研讨会上，仅有53%的演讲论文是关于硅材料器件的（只要器件中包含了硅材料，无论是作为被动基底还是活性材料）。
从过去12年来的演讲主题可以清晰的看出，硅材料微型器件的学术研究热潮已经开始逐渐消退。
固态传感器、执行器及微系统研讨会中硅基器件演讲论文的比例
学术研究人员现在开始专注于开发聚合物和纸基微型器件。利用这些材料开发的器件，不仅工艺环保，而且制作设备简单、成本较低。相对硅材料，它们大幅缩减了研发经费预算。许多聚合物和纸基微型器件的创新都指向了医疗应用，对该领域来说，生物相容性和材料的柔性是基本要求。
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纸基和聚合物微型器件的功能和性能开发，目前还处于相对早期的阶段，这类器件的生产设施目前也还没有开发出来。这些新技术的成熟和商业化，可能还需要超过10年的时间。
那些还寄希望于学术界来为他们开发新型硅基MEMS技术的产业从业者，估计要失望了，因为学术界研究人员已经开始逐渐放弃硅材料研究。
但是，基于硅材料的微型器件研究，还有很多创新工作要做，这意味着产业界需要重拾懈怠已久的硅材料研发，不然就会面临发展停滞的风险。
（原标题：MEMS科学研究开始逐渐弃用硅材料）
