【仪表网 仪表会议】二次离子质谱（SMS）是离子质谱学的一个分支，也是表面分析的有利工具。10月8-11日，第六届中国二次离子质谱会议在中科院大连化学物理研究院召开，对SIMS仪器新研发进展做了了解。
从20世纪60年代台商用二次离子质谱设备诞生至今，这项技术被广泛应用于微电子、半导体、材料学、地质学、生物、医学、天体物理等各个领域，随着探测方法的改进，二次离子质谱技术不断得到发展。
会议上，专家汇报了“同位素地质学专用TOF-SIMS科学仪器高分辨飞行时间质量分析器”项目研制进程。这是国家重大科研仪器设备研制专项，于2012年3月启动，由中国地质科学院地质研究所牵头，其余参与单位有中科院大连化学物理研究所、吉大、中国地质科学院矿产资源研究所。
飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）是重要的表面化学分析手段之一，可用于多种固体样品的直接分析。其大优势在于脉冲形式离子束的应用，较现有的其他种类的二次离子质谱技术，极大地减小了样品损耗，适合于珍贵微小的地质样品分析。二次离子检测是TOF-SIMS核心技术，增加质量分析器的传输效率可提高TOF-SIMS分析精度，但同时会引入调试困难、谱峰重叠等问题。SIMS领域专家在会议上讨论了项目进展中遇到的问题，青年科研人员也对SIMS的基础、仪器和分析应用做了初步培训和了解。
会后，专家组参观了研究院102组实验室，对项目运行做了考察并作出高度评价。第六届中国二次离子质谱会议为大家提供了交流的平台，了解了新研究成果，会议聚焦的二次离子质谱研究也取得了一定进展。来自美、英、日等国的SIMS领域专家，及清华大学教授、中国台湾国立大学教授、中科院研究院等上百位研究人员出席了会议。
