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中芯将与中科院微电子所在传感器领域展开合作

仪表产业 2016年11月21日 08:50:46来源:美通社 13543
摘要中芯集成电路制造有限公司与中国科学院微电子研究所签订MEMS研发代工平台合作协议,共同进行MEMS传感器标准工艺开发,合作打造完整的MEMS产业链。

  【仪表网 仪表产业】中芯集成电路制造有限公司(简称“中芯”),的集成电路晶圆代工企业之一,中国内地规模大、技术先进的集成电路晶圆制造企业,与中国科学院微电子研究所签订MEMS研发代工平台合作协议,共同进行MEMS传感器标准工艺开发,合作打造完整的MEMS产业链。
  


  根据协议,中芯与中国科学院微电子研究所将进行深度合作,充分发挥微电子所在MEMS传感器设计和成套工艺设计方面的优势,以及中芯在标准化工艺平台、产业地位及市场影响力方面的优势,以MEMS环境传感器的开发为牵引,并结合其他类型MEMS传感器结构特点,推进传感器工艺技术的标准化、平台化和量产化,缩短从设计方案到量产产品的距离,促进MEMS产业的快速发展。
  
  “中芯研发团队在传感器领域持续开发新的工艺平台,引进新客户,取得了很多新的成绩。中芯愿意开放平台,支持商业化生产、学校和科研院所的研发。”中芯执行官兼执行董事邱慈云博士表示,“中芯与微电子所在多个逻辑工艺开发项目上已有良好的合作基础,此次我们将继续深入合作,共同推进MEMS传感器的成套标准化工艺开发,协助整合并完善MEMS产业链。”
  
  中国科学院微电子所所长叶甜春参观了中芯 MEMS 传感器中段生产线,并表示,“通过微电子所和中芯的产学研合作,我们可以发挥双方的优势,共同建设MEMS公共技术服务平台和电子化MEMS产业链信息整合平台,集产品设计、加工制造、封装、测试、公共平台、风险投资为一体,形成产业链上下游关系的协同以及公共资源的大化共享,为及中国MEMS产业发展提供有力的支撑。”
  
  (原标题:中芯与中科院微电子所签订MEMS研发代工平台合作协议)

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