【仪表网 仪表研发】高纯气体中水汽含量是半导体工业生产中的一个重要参数，气体中残余水汽含量即使是ppbv (体积的十亿分之一)量级也会对产品质量产生影响。气体在中红外区域具有更丰富的特征谱线，在该区域对水汽含量进行检测十分必要。宽调谐范围、高输出功率和窄线宽量子级联激光器的快速发展，推动了该区域红外光谱检测技术的发展。
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光电所团队在中红外波段采用5.2 um可调谐量子级联激光器，基于连续光腔衰荡光谱技术建立了痕量水汽的检测装置，并开展了痕量水汽检测实验。通过阿伦方差分析系统噪声水平，确定了光腔衰荡信号优平均次数为602 次。在常压和室温下，对1918cm-1 附近的水汽吸收光谱进行测量，测定高纯氮气中的痕量水汽浓度，检测结果与标称值一致。对检测灵敏度进行分析，在腔镜反射率为 99.93%时水汽的检测灵敏度达到24.8ppbv。分析结果表明，中红外高灵敏痕量气体检测技术在工业监测、环境检测以及医学诊断等领域具有很好的应用前景。
相关研究成果发表于《光谱学与光谱分析》(Spectroscopy and Spectral Analysis)。
(原文标题：光电所在痕量水汽检测研究中取得进展)
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