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ECI Technology的化学检测系统成功装载

行业聚焦点中国仪表网2009年03月09日 09:23人气:4183

     全球领先的湿法化学度量技术供应商ECI Technology近日宣布一家欧洲知名的半导体研究中心成功装载了On-Line Quali-Line QLC-7500 Chemical Monitoring System(CMS)。ECI Technology将在近期举行的SEMICON China中参展,展位号是4722。   

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        QLC-7500是一台在线分析设备,可用来监测和控制硅通孔(TSV)铜淀积工艺。它能精确测量电镀和填充工艺中无机成分和所有有机添加物的浓度。QLC-7XXX化学检测系统是铜电镀(大马士革)工艺最常用的分析设备,全球主要的半导体制造商均选择该系列设备。
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