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沈阳仪表院两项科研项目通过验收

行业聚焦点中国仪表网2009年12月03日 08:57人气:4343

        沈阳高新区科技局在沈阳仪表科学研究院主持召开“ZSH系列高精度自动划片机产业化”、“耐高温SOI结构压力敏感芯片及器件”两科研项目验收会议。浑南高新区科技局赵志江副局长主持会议。

  验收专家组在会上听取了研制工作总结报告,审查了验收资料,考察了样机,经过质询和讨论,认为:两项目产品“结构合理,性能、制造工艺稳定可靠,各项性能指标达到合同规定内容”;产品“技术水平达到国内领先、国外同类产品先进水平”;“项目经费使用合理,符合项目验收相关要求”。一致同意两项目通过验收。

  “ZSH系列高精度自动划片机”是沈阳仪表科学研究院2007年度获批的首个浑南新区科技计划项目,该项目在图像识别加工基线自对准、基准平台自动对准、水雾自动吸排、光栅闭环控制 运动曲线拟合补偿技术等方面具有创新性,有效地提高了芯片加工的自动化水平和加工精度。项目产品核心技术具有自主知识产权,填补了国内空白。

  “耐高温SOI结构压力敏感芯片及器件”项目压力测量范围可覆盖0~40KPa~40MPa,准确度指标达到0.2%FS,使用温度达到-45~300℃。项目产品在敏感芯片灵敏度热漂移免补偿技术、稳定的欧姆接触多层引线工艺技术方面具有一定的创新性。本项目填补了我国自主批量生产耐高温SOI压力敏感芯片及器件的空白。

  沈阳高新区一直关注沈阳仪表科学研究院IC装备产品发展及传感器国家工程研究中心科研成果转化情况。此次项目验收,进一步展现了我院科研实力,对争取后续支持起到了积极的作用。

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