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富士通开发可实时分析LSI生产线空气污染的传感器

展会前线中国仪表网2006年09月29日 10:30人气:758

日经BP社报道: 富士通研究所开发成功了可实时分析LSI生产线晶圆运送容器(FOUP)内空气污染的传感器。今后,将通过富士通的LSI生产线进行效果验证。

  与金属板并用也可测定污染物

  作为LSI生产线的空气污染物分析方法,此前主要采用取样方法。但是使用这种方法,分析时需要花很长时间,并且不能实时分析,很难确定污染原因。而此次则将富士通研所开发的水晶发振传感器(石英晶体微天平,QCM)配置于FOUP内,可实时分析空气中的污染物,及早确定污染原因,便于采取对策。也可以将金属板与传感器一块放入FOUP,通过X射线光电子分光法来确定污染物。

  QCM的工作原理是水晶振子表面吸附有物质时,振动频率会发生变化。仅吸附0.5ng/cm2的微量物质,振动频率就会变化1Hz。新开发的QCM为了放进FOUP,进行了小型化设计,同时,使用了可弯曲的接线,不用在FOUP上开口即可插入内部。

  LSI生产线普遍采用的方法是,不仅提高洁净室的清洁度,还将晶圆密闭在FOUP等容器中,局部提高晶圆周围的清洁度。

  富士通研究所在9月25~27日召开的半导体制造技术相关国际会议   “InternationalSymposiumOnSemiconductorManufacturing(ISSM)2006”上发表此次成果。
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