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韩国电子显微镜产业化发展状况简介

数读市场中国仪表网2010年06月29日 10:22人气:4832

  电子显微镜是韩国政府纳米技术产业化战略目标中,20项服务于纳米技术研发的软硬件工程之一的重点项目, 力争在2010年前达到世界较先进水平。自2000年开始立项,韩国政府招募海外科学家,政府投资两家单位,同时开展对电子显微镜的研制,一家为企业即韩国MIRERO株式会社,另一家为事业单位韩国标准与科学研究院(KRISS)。

  韩国MIRERO株式会社一个事业部承担电镜项目,2007年该事业部转变为MIRERO独立子公司SERON。由于过去MIRERO具有仿制扫描电镜的基础原型,在此基础上2002年便推出IS2000型商品化电镜,2003年升级为AIS2003分辨率为5nm,2004年升级为AIS2100分辨率标称3.5nm,并且于2005年开始海外市场推广,AIS2100扫描电镜在2004年到2009年作为其主要产品供应国内及国际市场。

  自2006-2010年期间我国曾经进口了几台,2010年初本人有幸亲自在AIS2100两家中国客户处上机考察,发现其较多问题,例如无电子枪电磁对中器,大幅度改变加速电压或灯丝温度,造成的灯丝微小变形,足以令电子枪合轴不良,因此要想改变电压或者灯丝温度,都要重新进行机械对中调整,一般该厂商不建议用户经常改变观察条件,用户确实也是那么做的;还有软件没有工作距离参数显示,改变工作距离,进行聚焦,放大倍数不变,这个是不能允许的。

  当然这些明显的缺陷在近一两年有所解决.最主要的问题,其采用扩散泵真空系统,按道理本身振动小才对,调查的结果却是,即使加上样品台气锁,超过一万倍就开始影响图像.究其原因产业化过早,过早参与竞争带来经营上的压力巨大,加上底端的钨灯丝扫描电镜,市场和技术都很成熟,利润率又很低,韩国政府采购中强制采购其产品,没有竞争,因而对待问题的态度成了决定因素,往往遮蔽其制造技术缺陷。2009年底该企业推出升级产品AIS2100C及AIS2300C型扫描电镜.

  韩国标准与科学研究院(KRISS),从一开始便科学严谨的进行电镜技术开发,2000年进行市场调研,2001年进行电子光学电磁透镜设计,2003年获得了初步成果,样机上获得5nm分辨率照片,并不断优化设计完善,实现了最佳性能。2004年开始设计全数字控制系统,高压电路板等,2005年研制成功高亮度钨灯丝电子枪。2007年7月,电子显微镜项目组从KRISS成功分离,成立COXEM公司。COXEM商品化扫描电镜一经推出,便是比较成熟可靠的,高档涡轮分子泵洁净真空系统配置,以极高的性价比,受到用户欢迎。07年在韩国仅出售1台, 08年出售了6台,09年出售了23台,从绝对数量上看很少,但从增长率上来看,确是很高的。充分说明,使用者的示范效应起到了市场催化。

  韩国国内用户对于COXEM扫描电镜的渴求,可谓是久旱望甘霖,终于有了韩国本土制造的扫描电镜,可以和其他进口品牌,在同档产品的综合性能上一较高下,令韩国人为之振奋,预计2010年,coxem电镜在韩国本土的销售可达40台以上.2010年初,coxem开始开发海外市场,首先开发的是美国市场,美国evex能谱公司作为其合作伙伴,其次是中国市场为代表的亚洲各国市场。2009年底coxem推出可靠地CX-200型全自动扫描电子显微镜,该型号将于2010年下半年向海外发售。

  韩国这两家制造商持续受到政府技术创新资金支持,海外市场开拓基金支持,开发纳米科技支撑装备电子显微镜为目标,开发海外市场。

  目前韩国钨灯丝扫描电镜市场每年需求约200台,据说韩国本土制造占有50%份额。
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