据中国台湾媒体报道，看好中国台湾工研院在LED、微机电的研发能力，仪器设备制造厂、英国上市公司OxfordInstruments（牛津仪器，OXIG）于今（23）日进驻中国台湾工研院的微机电开放实验室，成立研发中心，双方将针对高亮度LED（HB-LED）的后段晶圆级封装制程及整合微结构技术共同研发改良新技术，未来并将会把研发成果技转予国内LED封装厂，以加速提升国内LED相关产业竞争力。
牛津仪器此次除了和工研院合作、将海外研发中心设立于工研院，以就近服务亚太地区LED生产厂商的需求外，公司并透露，未来将寻求适合的中国台湾厂商成为其机台的配件供应商。OxfordInstruments表示，期望中国台湾未来可发展成为公司在亚太区的机台组装中心，因与台设备零组件厂合作，可降低设备成本并加速出机的时效性。
工研院院长徐爵民表示，微机电技术是现今LED后段晶圆级封装制程中的的关键技术，而工研院的微机电开放实验室是目前中国台湾同时具有2~8吋微机电晶圆制程技术的研发实验室，其可协助产业界进行元件设计、制造、封装、测试与试量产等服务。
此次工研院与牛津仪器合作，将可加速国内在LED晶圆封装的技术整合，提升未来国内高亮度LED产业的产品竞争力。而工研院未来也将逐步规划进行微奈米机电关键制程技术的开发，使中国台湾的LED及微奈米机电产业链发展益趋完整。
牛津仪器集团总裁JonathanFlint表示，牛津仪器专注于电浆蚀刻与化学气相沉积技术已有超过25年的经验，提供LED上游图案化磊晶基板与中游晶粒制造关键性设备，并与LED大厂合作进行先进制程开发，解决LED下游封装散热技术的问题。
据了解，英国牛津仪器为英国牛津大学个新创的商业公司，主要产品包括分析仪器、半导体制程设备等。该公司在英、美、芬兰、丹麦和中国有逾十间工厂，分公司/办事处遍布遍布40余国。该公司已于2001年在台成立亚太区行销办事处。
（来源：OFweek半导体照明网）
