东方测控

行业企业市场标准科技新品会议展会政策原创

沈阳仪表科研院三项目通过科技成果鉴定

行业聚焦点中国仪表网2011年05月13日 08:31人气:844

  据悉,近日由沈阳市科技局成果处主持,在沈阳仪表科学院召开了三项科研项目的科技成果鉴定会议。对科技部十一五支撑计划项目“传感器测试关键共性技术研究”、科技部科研院所技术开发研究专项资金项目“光密度连续变化滤光器件”、“SOI压力传感器制造工艺研究”进行了科技成果鉴定。专家组认真审阅了资料,听取了项目组的详细汇报,考察了研制现场及实物,经过质询和评议一致认为:
  
  “传感器测试关键共性技术研究”项目突破了高性能传感器“试验装置高效高压多波形控制”、“批量检测系统弱信号检测”、“可靠性强化试验”等关键技术,在硅电容传感器批量测试系统的“夹具设计”和“补偿方法”、传感器高效高压试验装置的“复合波形控制”等方面具有创新性。成果主要性能指标和关键技术达到国际先进水平,对推动行业技术进步,增强产品市场竞争力,具有重要的支撑作用。
  
  “光密度连续变化滤光器件”项目开展了中性渐变薄膜的设计与制造工艺研究,研制出线性度和中性度良好的光密度连续变化滤光器件,线性度、中性度均达到±5%。解决了光密度线性渐变薄膜设计、中性薄膜镀制、掩膜机构设计及掩膜机构运动控制等关键技术难题,在线性迭代拟合调速和分段调速等方面具有创新性。研制开发的滤光器件,填补了国内空白,并已实现批量生产,主要性能指标达到国际先进水平。
  
  “SOI压力传感器制造工艺研究”项目开展了SOI压力传感器制造工艺的研究,建起具有自主技术和知识产权支撑的高温SOI压力传感器制造技术平台,实现耐高温SOI压力传感器批产工艺的稳定性。采用表面掺杂浓度控制方法解决了低漂移技术难题,使敏感器件的稳定性达到0.005%F.S./8h;采用多层薄膜低应力匹配技术,实现敏感芯片重复稳定生产;采用Cr–Ni–Au复合耐高温电极制备技术,实现了敏感芯片在300℃下稳定工作。项目成果填补了国内空白,主要性能指标达到国际先进水平。鉴定委员会一致同意三个项目通过成果鉴定。
  
  专家组对沈阳仪表科学研究院项目组织实施管理给予了较高评价,对项目完成的质量给予了充分地肯定,并建议在现有基础上不断地发挥自身优势,进一步推广应用并扩展应用领域。
(本文来源:仪表院报转载请注明出处
仪表网官方微信
@仪表网
已推荐
0

全年征稿 / 资讯合作

联系邮箱:ybzhan@QQ.com
  • 凡本网注明"来源:中国仪表网"的所有作品,版权均属于中国仪表网,转载请必须注明中国仪表网,http://www.ybzhan.cn/。违反者本网将追究相关法律责任。
  • 本网转载并注明自其它来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。
  • 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
成丰仪表——中国第三代流量计领军品牌


返回首页