东方测控

行业企业市场标准科技新品会议展会政策原创

我国高精度纳米分辨率线位移测量技术获新突破

专题报道中国仪表网2007年01月12日 10:25人气:613

 近日从吉林省科技厅了解到,由长春光机所承担的应用基础研究项目——“高精度纳米分辨率线位移测量技术研究”,日前在长春通过专家鉴定。鉴定委员会专家一致认为,该项研究所制成的高精度纳米测量传感器样机达到四倍光学倍频,技术指标达到国际先进水平。


    据介绍,线位移尺寸测量是精密加工制造业的基础之一。随着被加工对象加工精度的提高,位移测量仪器必须具有高精度、高分辨率、大量程、体积小、重量轻等特点。市场上的光栅尺、感应同步器、磁栅等传感器生产厂家众多,这些厂家生产的传感器结构简单、价格低,但分辨率仅在1mm~0.5mm,远不能满足要求。此外,少数加工中心使用的双频激光干涉仪多是进口或仅有少数国内科研单位单件研制,虽然其精度高,分辨率可达0.01mm,但也有结构复杂、体积庞大、价格高、对环境要求苛刻、稳定性较差等缺点。


    据悉,本项目研究了应用衍射光干涉原理进行线位移测量的理论计算及光路设计等各种技术问题,采用衍射光干涉原理实现了高密度光栅的位移信号提取;实现了光学四细分,使光栅原始信号分辨率达到0.6μm;采用光学偏振器件对光干涉条纹进行空间移相,得到具有稳定位相差的四路光电信号,差分处理抑制光电信号的直流电平漂移,增大了信号幅值,提高了测量稳定性。

(本文来源:转载请注明出处
仪表网官方微信
@仪表网
已推荐
0

全年征稿 / 资讯合作

联系邮箱:ybzhan@QQ.com
  • 凡本网注明"来源:中国仪表网"的所有作品,版权均属于中国仪表网,转载请必须注明中国仪表网,http://www.ybzhan.cn/。违反者本网将追究相关法律责任。
  • 本网转载并注明自其它来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。
  • 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
成丰仪表——中国第三代流量计领军品牌


返回首页