由测量与仪器委员会、中国国家自然科学基金委员会、中国计量测试学会、中国仪器仪表学会联合主办，哈尔滨工业大学和测量与仪器委员会、全国计量仪器专业委员会承办的第六届精密工程测量与仪器学术研讨会（ISPEMI 2010）于8月8日-11日在杭州成功举办。
本次会议共收到论文637篇，收录论文266篇。到会代表约260人，其中境外代表约60人。中国计量测试学会常务理事、计量仪器专业委员会主任委员、会议主席兼程序委员会主席、哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所所长谭久彬教授主持会议。会议邀请德国联邦物理研究院（PTB）科学家、精密工程部部长海尔德•布斯教授，澳大利亚科学院与工程院院士、澳大利亚斯威本大学副校长、多维光存储技术专家顾敏教授，美国科学院院士、加州大学伯克利分校超分辨光学技术专家张翔教授，美国亚利桑那大学大型光学元件超精密加工与测量专家詹姆斯•伯格教授，日本东北大学超精密加工与测量专家高伟教授，俄罗斯科学院衍射光学专家亚历山大教授，英国伦敦大学国王学院共焦显微技术专家蒂姆•活森教授和国防科技大学超精密光学加工与测量技术专家李圣怡教授8位世界学者到会作特邀报告。
会议研讨内容涉及仪器科学理论与方法、仪器与系统、超精密传感技术、先进光学加工与测量技术、微/纳制造与测量技术、生物医学光学与仪器、激光测量技术与仪器和光电仪器技术等前沿方向和仪器学科领域重大热点问题。会议共组织了16个分会，口头报告 84篇，其中专题邀请报告21篇，张贴报告182篇。哈尔滨工业大学金鹏教授主持了微纳米技术与测量分会，并作了“微光学元件纳米压印加工”专题邀请报告。
精密工程测量与仪器学术研讨会是在ISIST（仪器科学与技术学术研讨会）和ISPMM（机械工程精密测量学术研讨会）两个系列会议的基础上，为规范会议管理和更加有力地把仪器科学与技术学科领域的学术会议水平推向新高度，在国家自然科学基金委员会、中国计量测试学会和中国仪器仪表学会建议下合并产生的。光学工程学会（SPIE）将成为本系列会议的协办单位，论文全部收入SPIE出版的论文集，并由EI和ISTP全部收录。
