导读：4月27日至28日，北京纳米科学大型仪器区域中心为促进各成员单位间技术交流与合作，提升纳米科学技术的研发和创新能力，由国家纳米科学中心牵头，中科院半导体所和微电子所联合承办了区域中心首届以“半导体工艺技术”为主题的技术交流会。
4月27日至28日，北京纳米科学大型仪器区域中心为促进各成员单位间技术交流与合作，提升纳米科学技术的研发和创新能力，由国家纳米科学中心牵头，中科院半导体所和微电子所联合承办了区域中心首届以“半导体工艺技术”为主题的技术交流会。区域中心牵头单位国家纳米科学中心及所属8个研究所（物理所、化学所、微电子所、高能所、半导体所、电工所、过程所、理化所）的区域中心工作组成员、共享仪器设备操作员和相关工艺人员等五十余人参加了此次技术交流会。
会上，国家纳米科学中心的区域中心工作组代表熊玉峰工程师介绍了北京纳米科学大型仪器区域中心的工作及本次“半导体工艺技术”交流会举办的目的和意义，并鼓励区域中心各成员单位间不断加强技术交流合作，共同为中科院纳米科技发展的仪器设备研发及相关技术平台的支撑做贡献。来自北京纳米科学大型仪器区域中心成员单位的多位技术专家作了与仪器设备共享和相关工艺技术的精彩学术报告。其中，微电子所夏洋研究员的《半导体创新设备研发报告》和陈宝钦研究员的《微光刻与电子束光刻技术》报告在会上都引起了与会代表的兴趣并激发了现场的热烈讨论。
参会代表一致认为此次“半导体工艺技术”交流会给大家提供了一个非常好地展示和交流平台，并对交流会成果予以肯定，同时希望区域中心工作组今后能继续组织不同研究方向的技术交流活动。
微电子所今后将不断总结相关经验，积极和院兄弟单位联系组织各种技术交流研讨会，为科研人员和技术支撑人员创造更加广泛的交流平台，全力为研究所实现“创新2020”和“一三五”规划目标提供强有力的支撑保障。
