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山东大学微电子器件及可靠性研究取得突破进展

行业聚焦点中国仪表网2007年05月31日 09:30人气:4382

  近日,山东大学以苗庆海教授为学术带头人的科研团队在“微电子器件及其可靠性”研究方向取得突破性进展,应用MQH算法,建立了基于电学测量方法的“微电子器件热谱分析方法”。
    
  该成果的选题来源于困扰微电子学领域的一个国际性科技难题,即用电学方法测量微电子器件芯片温度分布不均匀性的难题。国际电工委员会的技术标准IEC 60747-7和美国军标MIL-STD-883E是国际上普遍采用的关于测量微电子器件结温的两大系列标准,英国的BS IEC 60747-7、中华人民共和国国家标准GB/T 4587-94 和“中华人民共和国国家军用标准 微电子器件试验方法和程序”GJB548A-96是国际上采用这两大系列标准的典型代表。这五个标准的计算公式都把不均匀的结温分布不得不当作均匀来处理才能计算出结温,IEC 60747-7还特别声明“请注意,此测量方法作了这样的假设:当晶体管耗散功率时,结温分布是均匀的,并且和校准晶体管时的温度相同。这个假设可能是不成立的。”针对这个难题,对于被密封在体内看不见、摸不着的半导体芯片,苗庆海教授以发现的“小电流过趋热效应”为突破口,应用MQH算法,建立了基于电学测量方法的“微电子器件热谱分析方法”,较圆满地解决了这一国际性难题。
    
  该项研究成果还从理论和实验两方面证明了国际电工委员会标准IEC 60747-7中的原理性错误,并就这一发现致电国际电工委员会,国际电工委员会分管半导体分立器件的主席Annie Delort女士回信表示接纳建议,感谢苗庆海教授等人对IEC 60747-7的贡献。
    
  该项研究先后得到了国家自然科学基金等多次立项资助,有关成果已通过相关部门鉴定,并联合中国电子科技集团第十三研究所共同设计生产出了有关半导体器件可靠性分析仪
    
  目前,山东大学以苗庆海教授为学术带头人的“微电子器件及其可靠性研究”课题组现正在深度和广度上进一步研究“微电子器件热谱分析方法”,同时向实用化、工业化方向迈步,并争取使其纳入国内和国际标准行列。
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