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我国自主研发出汽车用ESP仪器系统

新品抢鲜中国仪表网2013年04月24日 09:17人气:18709

  导读:近日,先进制造领域863课题“汽车电子稳定程序(ESP)微传感器及系统”项目宣布取得成果,研发出了具有自主知识产权的汽车用ESP仪器系统。据介绍,在研发过程中,课题组突破了6英寸MEMS传感器芯片工艺技术。同时还通过实验,验证了MEMS传感器的性能与可靠性,这两项指标满足了ESP系统的要求。
  
  近日,先进制造领域863课题“汽车电子稳定程序(ESP)微传感器及系统”项目宣布取得成果,研发出了具有自主知识产权的汽车用ESP仪器系统。
  
  据悉,课题组研究人员针对汽车电子应用需求,对MEMS陀螺仪和加速度传感器的结构进行了优化设计,开发出了基于体硅SOI和圆片级封装工艺的低成本MEMS微陀螺和微加速度计芯片,攻克了数字化陀螺仪电路设计和加速度计ASIC电路设计技术和预成型空腔塑封封装技术,研制出了自主知识产权的ESP用MEMS陀螺仪和加速度计产品。
  
  据介绍,在研发过程中,课题组突破了6英寸MEMS传感器芯片工艺技术。在传感器芯片的制造过程中,采用了PCM监控和SPC控制技术,实现了微传感器关键工艺参数的在线监测,建立了微传感器圆片在片自动测试平台,掌握了MEMS传感器批量化制造技术,MEMS陀螺仪芯片加工成品率达到80%,MEMS加速度计芯片成品率达到90%。课题研制出的基于MEMS陀螺仪和加速度传感器的汽车ESP系统,完成了硬件和算法的初步研究、ESP系统的匹配试验和搭载验证和ESP系统的路试和抗干扰试验。同时还通过实验,验证了MEMS传感器的性能与可靠性,这两项指标满足了ESP系统的要求。
  
  据悉,截至目前,该课题已申请4项发明专利。
(本文来源:机械工业仪器仪表综合技术经济研究所转载请注明出处
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