东方测控

行业企业市场标准科技新品会议展会政策原创

微振幅低频振动测量装置成功研制

行业聚焦点中国仪表网2014年02月15日 17:45人气:4935

  导读:上海市计量测试技术研究院成功研制“微振幅低频振动测量装置”,填补了微幅低频振动领域校准装置和方法的空白,实现了MEMS器件、激光、超声电机定子等设备的静态和动态参数的校准和检测。
  

  中国仪表网讯  近日,来自上海市计量测试技术研究院的消息,该院机械所承担的国家质检总局科技计划项目——“微振幅低频振动测量装置的研制”顺利通过验收。
  
  该项目研制的微振幅低频发生装置利用基于逆压电效应的微动平台对电压信号的快速响应,通过不同信号驱动输出不同形态的微小振动,实现装置的频率、振幅、波形、相位的可视化、数字调节输出,装置可产生(1~100)赫兹,(0.05~0.5)微米的振动。项目研制的微振幅低频测量装置基于激光聚焦式测头和PI纳米定位平台,通过独立地基、气浮隔震平台、隔震弹簧进行隔震处理,采集激光聚焦式测头信号进行线性标定,实现了(1~100)赫兹,(0.05~0.5)微米的振动信号测量。项目性能指标已达到国内先进水平,具有较好的推广前景。在项目的研究过程中,使用微振幅低频振动发生装置对上海某电子科技有限公司的加速度传感器进行测量,满足了客户在频率50Hz处速度0.01mm/s的单点单频测试需求。使用微振幅低频振动测量装置测量某纳米位移技术有限公司的P-753移动平台的振动动态性能,为该公司的精密压电产品的动态性能测试提供了国内第三方的测试平台,装置和方法均得到了对方的认可。
  
  该项目的完成填补了微幅低频振动领域校准装置和方法的空白,实现了MEMS器件、激光、超声电机定子等设备的静态和动态参数的校准和检测,有利于高新技术企业对微纳米测量、定位、驱动、控制元件和技术的引进、吸收、创新,从而促进超精密加工、光学仪器工业、半导体及MEMS行业和超声电机的持续发展、技术创新、产业升级。
(本文来源:中国仪表网转载请注明出处
仪表网官方微信
@仪表网
已推荐
0

全年征稿 / 资讯合作

联系邮箱:ybzhan@QQ.com
  • 凡本网注明"来源:中国仪表网"的所有作品,版权均属于中国仪表网,转载请必须注明中国仪表网,http://www.ybzhan.cn/。违反者本网将追究相关法律责任。
  • 本网转载并注明自其它来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。
  • 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
成丰仪表——中国第三代流量计领军品牌


返回首页